[发明专利]混合浆料系统、应用在该系统上的排水管及清洗方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种混合浆料系统、应用在该系统上的排水管及清洗方法。

背景技术

在半导体器件的制造过程中，包括对晶圆的清洗和刻蚀等步骤，都需要相应的混合浆料对晶圆处理。因此，半导体器件制造工厂就需要混合浆料系统对各种纯溶液混合后，再将相应的混合浆料应用到晶圆的清洗过程或晶圆的刻蚀过程等过程。

图1为现有的混合浆料系统的剖面结构示意图，如图所示，该系统至少包括混合罐及排水管，当然，也包括进水管(图中未示出)，这与本申请的内容无关，这里不再赘述。

其中，混合罐与排水管连接，混合罐用于在混合浆料系统中控制系统的控制下，将从进水管进入的各种纯溶液混合，混合的方式可以为搅拌(混合灌中有搅拌轴)，提供给与其连接的混合浆料存储罐(图中未示出)后，从进水管通入超纯净水(UPW)对混合罐清洗，得到废液；

排水管，用于将对混合罐清洗后的废液排出。

具体地，排水管为一设定长度的不透明管道，材料可以为塑料，比如材料为聚丙烯(PP)，该不透明管道可以折弯，在与混合罐的连接处，也就是排水管的入口，具有一手动阀门，用于在混合罐排出废液时开启，混合罐中的废液流入排水管；排水管的出口，还具有另一手动阀，用于在排水管中有废液时开启，排水管中的废液流出。

由于废液中也存在少量的混合浆料，而混合浆料比较容易结晶，这样在通过排水管排出废液的时候，就很容易在排水管内残留结晶，结晶慢慢在排水管内积累，长时间未发现处理，会堵塞排水管，影响混合罐对下一批混合浆料混合后的清洗，最终影响整个混合浆料系统对混合浆料的正常供应，进而影响了半导体器件的制造。

为了解决上述问题，半导体器件的制造人员会定期对排水管清洗，比如采用氢氧化钾(KOH)溶液通入排水管。这种方法也有缺点，定期清洗只是半导体器件的制造人员预估出设定时间长度，由于在排水管内的结晶而导致排水管的堵塞，但是，对于不同混合浆料后的清洗，所产生废液中的结晶数量是不同的，从而排水管内的结晶积累时间也是不同的，所以定期清洗会出现两种情况，一种是排水管内还未出现结晶积累就清洗，浪费时间及成本；另一种是排水管内已经被堵塞还未到设定的时间进行清洗，影响混合罐对下一批混合浆料混合后的清洗，这两种情况都无法保证半导体器件的制造人员及时并准确的对排水管清洗，这会影响混合罐对下一批混合浆料的混合，最终影响整个混合浆料系统对混合浆料的正常供应，进而影响了半导体器件的制造。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种混合浆料系统，该系统能够及时并准确地对排水管进行清洗，不影响混合罐对下一批混合浆料的混合。

本发明还提供一种应用在该系统上的排水管，该排水管能够被及时并准确地进行清洗。

本发明还提供一种排水管的清洗方法，该方法能够及时并准确地对排水管进行清洗。

为达到上述目的，本发明实施的技术方案具体是这样实现的：

一种混合浆料系统，包括：混合罐和与混合罐连接的排水管，所述排水管具有部分透明材质管道，用于在混合罐排出废液时实时监控所述部分透明材质管道，确定是否对排水管进行清洗。

所述部分透明材质管道位于排水管的入口或/和出口。

所述透明材质管道两端的外壁分别与两个聚丙烯接头的一端内壁粘住，两个聚丙烯接头的另一端分别与入口的手动阀门或/和出口的手动阀门以及不透明管道焊接，每个聚丙烯接头的两端采用螺纹连接。

所述透明材质管道的长度小于等于排水管中的直管道长度，所述透明材料管道采用聚氯乙烯材料。

一种应用在混合浆料系统上的排水管，包括：在排水管的入口和/或出口接入透明材质管道，用于实时被监控，确定是否对排水管进行清洗。

所述透明材质管道两端的外壁分别与两个聚丙烯接头的一端内壁粘住，两个聚丙烯接头的另一端分别与入口的手动阀门或/和出口的手动阀门以及不透明管道焊接，每个聚丙烯接头的两端采用螺纹连接。

所述透明材质管道的长度小于等于排水管中的直管道长度，所述透明材料管道采用聚氯乙烯材料。

一种清洗所述排水管的方法，包括：

实时监控排水管入口和出口的排出废液流速；

确定所监控的排水管入口和出口排出废液的流速之差是否不小于设定的流速值，如果是，对排水管进行清洗；否则，继续实时监控排水管入口和出口的排出废液流速。

一种清洗所述排水管的方法，包括：

实时监控排水管的入口或出口排出废液的流速；