[发明专利]夹层式石英透射偏振分束光栅无效
申请号: | 201010224442.6 | 申请日: | 2010-07-09 |
公开(公告)号: | CN101907736A | 公开(公告)日: | 2010-12-08 |
发明(设计)人: | 周常河;孙文婷 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18;G02B27/28 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹层 石英 透射 偏振 光栅 | ||
【权利要求书】:
1.一种用于1550纳米波段的夹层式石英透射偏振分束光栅,包括在石英基片(2)上矩形深刻蚀光栅(4),其特征是在所述的矩形深刻蚀光栅上还结合有一层厚度均匀的石英(3),该矩形光栅的周期为808~852纳米,刻蚀深度为1.955~2.260微米,光栅的占空比为0.6。
2.根据权利要求1所述的夹层式石英透射偏振分束光栅,其特征在于所述光栅的周期为829纳米,刻蚀深度为2.1微米。
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