[发明专利]一种硅基聚合酶链式反应微池芯片

权利要求书

1.一种硅基聚合酶链式反应微池芯片，包括基体(1)，其特征在于：基体(1)和电路板(2)连接，基体(1)的正面设置有四个微反应腔(3)，在基体(1)的背面对应于对应于微反应腔(3)底部的位置均集成有微加热器(4)和微温度传感器(5)，微加热器(4)通过电路板(2)的电极与外部电源连接，微温度传感器(5)通过电路板(2)的电极与外部温控系统连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅基聚合酶链式反应微池芯片，其特征在于：所述的基体(1)和电路板(2)通过倒装焊接工艺连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅基聚合酶链式反应微池芯片，其特征在于：所述的微反应腔(3)对称分布在基体(1)的正面上，微反应腔(3)的内表面生长有一层二氧化硅。

4.根据权利要求1所述的一种硅基聚合酶链式反应微池芯片，其特征在于：所述的微加热器(4)的加热电阻采用离子注入工艺制作在芯片背面内部，分布位置对应于每个微反应腔(3)底部两侧，两侧加热电阻的数目相等，均成等间隔排列，间隔距离与加热电阻自身宽度相同。

5.根据权利要求1所述的一种硅基聚合酶链式反应微池芯片，其特征在于：所述的微温度传感器(5)位于芯片背面内部对应于每个微反应腔(3)底部的中间。