[发明专利]防尘薄膜组件剥离用夹具及剥离方法

权利要求书

1.一种防尘薄膜组件剥离用夹具，其在从光罩将防尘薄膜组件剥离时使用，其特征为，包括：

固定构件，其用来将该防尘薄膜组件剥离用夹具固定于该光罩上；以及

粘接层，其用来将该防尘薄膜组件剥离用夹具固定于该防尘薄膜组件上。

2.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件剥离用夹具，其特征为，

该固定构件由第1臂部与第2臂部所构成，该第1臂部具备与该光罩抵接的抵接面，该第2臂部具备推压构件，

通过该第2臂部的推压构件将该光罩向该第1臂部的抵接面推压，而将该防尘薄膜组件剥离用夹具固定在该光罩上。

3.根据权利要求2所述的的防尘薄膜组件剥离用夹具，其特征为，

该推压构件是螺纹构件。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的的防尘薄膜组件剥离用夹具，其特征为，

形成该粘接层的粘接剂为硅氧树脂。

5.一种防尘薄膜组件剥离方法，用来将通过遮罩粘接层贴附于光罩上的防尘薄膜组件从该光罩剥离，其特征为，

利用权利要求1至4中任一项所述的防尘薄膜组件剥离用夹具，将该光罩与该防尘薄膜组件固定，接着，将该遮罩粘接层拉出并除去。