[发明专利]氮化硅发热片的制作方法

权利要求书

1.一种氮化硅发热片的制作方法，其特征在于，包括：

步骤1、制备流延浆料：按重量份计，将氮化硅88～92份、三氧化二铝6.5～8.5份、及三氧化二钇1.5～3.5份混合配制流延浆料；

步骤2、采用流延成型法对上述流延浆料进行流延，待干燥后制得素胚；

步骤3、提供钨浆，利用钨浆在一素胚的相应位置处印刷出作为发热源的钨丝，然后将另一素胚对齐扣在上面，形成素胚组合；

步骤4、真空封装：采用塑料膜对上述素胚组合进行真空封装；

步骤5、热等静压：将塑料膜封装后的素胚组合放到等静压机内75～85℃的液体里，并加上130～160个大气压，素胚微熔粘结；

步骤6、预烧结：先加热到600℃，真空度小于或等于20Pa，持续10小时，进行真空排胶；然后充氮气，加热到1400℃～1440℃，持续6小时；

步骤7、气压炉烧结：充氮气，在5个大气压力下，加热到1830℃，持续10小时；

步骤8、冷却制得氮化硅发热片。

2.如权利要求1所述的氮化硅发热片的制作方法，其特征在于，所述步骤1中，流延浆料按重量份计还包括：石蜡1.1～1.7份、微晶蜡1.1～1.7份、硬脂蜡0.1～0.3份、及塑胶6.5～7.5份。

3.如权利要求2所述的氮化硅发热片的制作方法，其特征在于，所述塑胶选用PE、PP、HIPS、PET其中的一种或其组合。

4.如权利要求1所述的氮化硅发热片的制作方法，其特征在于，所述流延浆料采用球磨的方法进行均匀混合。

5.如权利要求1所述的氮化硅发热片的制作方法，其特征在于，所述步骤2中，采用流延机对流延浆料进行流延，同时在60～120℃下干燥1～2小时，制得氮化硅发热片的素胚。