[发明专利]纳米改性高效率低成本多晶硅太阳能电池制备工艺

权利要求书

1.一种纳米改性高效率低成本多晶硅太阳能电池制备工艺，包括选择多晶硅片、用制绒液制绒处理、扩散、电极印刷，其特征是：选择多晶硅片时，选用体寿命大于等于40μs的P型多晶硅片，多晶硅片电阻率范围为0.5～3Ω·cm，厚度为140～200μm；用制绒液制绒处理时，采用HF与HNO₃的混合溶液，HF与HNO₃的混合溶液中含有重量百分比为0.05～0.1％的含氮无机盐和重量百分比小于等于0.1％的分散剂，制绒液中HF与HNO₃的体积比为1∶2～1∶6；在扩散后、电极印刷前还采用纳米改性工艺进行表面微区修饰清洗，即以含有有机碱和浸润剂的碱性水溶液处理扩散后的多晶硅片，以去除多晶硅片表面的微缺陷和有害杂质；电极印刷时，采用丝网印刷工艺进行背极和正极的印刷、烧结。

2.根据权利要求1所述的纳米改性高效率低成本多晶硅太阳能电池制备工艺，其特征是：分散剂的重量百分比为0.01～0.1％；选择多晶硅片时，选用体寿命为40μs～60μs的P型多晶硅片。

3.根据权利要求1或2所述的纳米改性高效率低成本多晶硅太阳能电池制备工艺，其特征是：所述有机碱为烷基铵类，其在碱性水溶液中的重量百分含量为0.1～10％；浸润剂在碱性水溶液中的重量百分含量为0.01～0.1％，多晶硅片在碱性水溶液中处理时的温度为25～85℃，时间为30秒～15分钟。

4.根据权利要求1或2所述的纳米改性高效率低成本多晶硅太阳能电池制备工艺，其特征是：分散剂为聚甲基硅氧烷、聚醚改性硅油、磷酸酯及高级醇、醇醚化合物、甜菜碱中的一种或几种；浸润剂为聚甲基硅氧烷、聚醚改性硅油、磷酸酯及高级醇、醇醚化合物、甜菜碱中的一种或几种。