[发明专利]电光器件及其制造方法有效
申请号: | 201010227384.2 | 申请日: | 2010-07-15 |
公开(公告)号: | CN101958403A | 公开(公告)日: | 2011-01-26 |
发明(设计)人: | 李亨燮;刘致旭;李成姬 | 申请(专利权)人: | 周星工程股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/50;H01L51/52 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;钟强 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电光 器件 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种电光器件及其制造方法,更具体地,涉及一种能够通过利用激光划线工艺去除用于上电极的顶膜的一部分并因而形成上电极来简化形成上电极的工艺的电光器件及制造这种电光器件的方法。
背景技术
通常,多个有机发光器件(OLED)设置在单个基板上的有机发光显示器包括基板、在该基板上形成的多个下电极、覆盖所述下电极的边缘区域的绝缘膜、在所述多个下电极上形成的有机膜以及在有机膜上形成的、由分隔物隔开为与所述多个下电极交叉的多个上电极,从而多个OLED能够被独立驱动。简单地说,在制造有机发光显示器的现有方法中,该方法首先在基板的整个表面上沉积诸如氧化铟锡(ITO)的透明导电材料。接着,执行光刻工艺,从而形成多个下电极。然后,在下电极的边缘区域上、即在下电极的上表面的边缘区域和侧面上形成绝缘膜。接着,为了在后续工艺中形成上电极,按照与下电极交叉的方式形成分隔物。在这里,通过用负性光刻胶涂覆基板,接着对该涂覆的负性光刻胶执行光刻工艺来形成5μm或更高的分隔物。然后,在基板上形成有机膜。接着,在形成有下电极和有机膜的基板的整个表面上沉积金属膜。金属膜被分隔物分隔开,由此被分隔开的金属膜用作多个上电极。由于这样形成分隔物和上电极,所以多个OLED能够被独立驱动。
但是,如果利用如同现有技术方法中的光刻工艺形成分隔物,就会需要多个制造步骤。因此,制造工艺太复杂,导致光刻工艺时间增加,制造成本也增加。
发明内容
本发明提供一种能够通过利用激光划线工艺去除在基板的整个表面上形成的顶膜的一部分并因而形成上电极来简化形成上电极的工艺的电光器件,以及制造这种电光器件的方法。
根据典型实施例,一种用于制造电光器件的方法包括:在基板上形成下电极;形成与下电极交叉的第一绝缘膜;在形成有下电极和所述第一绝缘膜的基板上形成有机膜;在有机膜上形成顶膜;以及通过利用激光划线工艺去除顶膜的一部分形成与下电极交叉的上电极。在这里,在利用激光划线工艺形成上电极时,上电极的下表面的边缘区域位于第一绝缘膜的上方。
在利用激光划线工艺形成上电极时,可以去除设置在顶膜下方的有机膜的一部分以形成有机图案,同时可以去除设置在有机膜下方的第一绝缘膜的一部分。
在激光划线工艺中使用的激光的宽度可以小于第一绝缘膜的宽度,且所述激光沿着第一绝缘膜的上侧的中心区域移动。
在所述激光划线工艺期间,在激光沿着第一绝缘膜的上侧的中心区域移动时,第一绝缘膜的中心区域、与第一绝缘膜的中心区域对应的有机膜和顶膜的一部分可以被去除。
所述有机图案的边缘区域和上电极的边缘区域可位于其中心区域被去除的所述第一绝缘膜的边缘区域的上方。
该方法可以包括形成覆盖下电极的边缘区域的第二绝缘膜,其中第二绝缘膜与下电极平行并与上电极和第一绝缘膜交叉。
第一绝缘膜和第二绝缘膜可以同时形成。
第一绝缘膜和第二绝缘膜可以由有机材料、无机材料和氧化物中的一种形成。
可以利用印刷工艺和光刻工艺中的一种形成第一绝缘膜和第二绝缘膜。
根据另一典型实施例,一种电光器件包括:设置在基板上的下电极;与下电极交叉的上电极;以及设置在下电极和上电极之间以与下电极交叉并与上电极平行的第一绝缘膜。
上电极的下表面的边缘区域位于第一绝缘膜的上方。
该电光器件还可以包括被设置成与下电极平行并覆盖下电极的边缘区域的第二绝缘膜。
该电光器件还可以包括设置在上电极和下电极之间的有机图案,且有机图案的边缘区域可以设置在第一绝缘膜上。
附图说明
由下面的结合附图的说明,可以更详细地理解典型实施例,其中:
图1A到图5A是示出典型实施例的制造电光器件的方法的俯视图;以及
图1B到图5B是沿着图1A到图5A的A-A’线截取的截面图。
具体实施方式
下面将参考附图更加详细地描述本发明的具体实施例。但是,本发明可以以不同的形式体现,因此不应解释为限制于这里阐述的实施例。更确切地说,提供这些实施例是为了使本发明全面且完整,并向本领域技术人员充分地传达本发明的范围。本文中相同的附图标记表示相同的元件。
图1A到图5A是示出根据典型实施例的制造电光器件的方法的俯视图,并且图1B到图5B是沿着图1A到图5A的A-A’线截取的截面图。
根据典型实施例的制造电光器件的方法能够简化形成多个上电极600b的工艺,并提高该电光器件的可靠性。以下,将参照图1A到图5A以及图1B到图5B描述根据典型实施例的制造电光器件的方法。
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