[发明专利]一种NiTiO3薄膜的制备方法无效

专利信息
申请号: 201010227443.6 申请日: 2010-07-15
公开(公告)号: CN101880870A 公开(公告)日: 2010-11-10
发明(设计)人: 黄剑锋;郝品;曹丽云;吴建鹏 申请(专利权)人: 陕西科技大学
主分类号: C23C18/14 分类号: C23C18/14
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 陆万寿
地址: 710021 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 nitio sub 薄膜 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种NiTiO3薄膜的制备方法,其特征在于:

步骤一:首先,将分析纯的六水合硝酸镍加入无水乙醇中,并不断搅拌,配制成Ni2+浓度为0.3mol/L~0.6mol/L的透明溶液记为A;

步骤二:其次,向A溶液中加入分析纯的钛酸四丁酯,使得Ni2+与Ti4+的摩尔比为1∶1,并不断搅拌得混合溶液,然后再向混合溶液中加入草酸,使草酸与所有阳离子的摩尔比为(0.5~2)∶1,最后再加入无水乙醇体积4~8倍的水和9~17倍的乙酰丙酮,搅拌均匀后静置形成溶液记为B;

步骤三:最后,将经双氧水和硝酸活化处理后的硅基片放入上述溶液B中;将B溶液放在紫外光-微波仪中照射12h~72h后取出硅基片,再将硅基片用丙酮清洗后放入干燥箱中,在80℃~120℃下干燥8h~12h,即得到最终产物-不含杂质的NiTiO3薄膜。

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