[发明专利]氮化硼纳米管合成装置

权利要求书

1.氮化硼纳米管合成装置，其特征在于包括有：A)退火反应炉、B)供气装置、C)抽气装置和D)气体循环和尾气处理装置，其中退火反应炉与供气装置相连接，抽气装置与退火反应炉相连，气体循环和尾气处理装置与供气装置相连接，所述的退火反应炉包括有炉体(2)、炉管(3)、电加热器与控制仪(4)、出气口阀门(17)、进气口阀门(18)、进气口总阀门(19)、气压表(21)、保温材料(22)、炉体外壳(23)、电加热棒(24)、提拉杆(25)、中空网筛(26)、进气总口(27)、出气总口(28)、挡板(29)、陶瓷垫管(30)，其中炉体外壳(23)内包裹有保温材料(22)，炉管(3)立式阵列于炉体外壳(23)的中心，电加热器控制仪(4)连接反应炉的电加热棒(24)，电加热棒(24)均匀排布在炉管(3)外侧，炉体(2)顶端设有挡板(29)，每个炉管的上下端分别配设有一个出气口阀门(17)和一个进气口阀门(18)，出气口阀门和进气口阀门分别与出气总口(28)和进气总口(27)相连通，进气总口(27)上连接有进气口总阀门(19)和气压表(21)，中空网筛(26)串联叠放在提拉杆(25)上，陶瓷垫管(30)置于炉管底部，提拉杆(25)底端与陶瓷垫管相接触。

2.按权利要求1所述的氮化硼纳米管合成装置，其特征在于所述的炉管为陶瓷管，其工作温度为600～1300℃，工作压力为1×10²～1.5×10⁵Pa。

3.按权利要求1或2所述的氮化硼纳米管合成装置，其特征在于所述的炉管为氧化铝陶瓷管。

4.按权利要求1或2所述的氮化硼纳米管合成装置，其特征在于所述的提拉杆底端为锥形圆台，锥形圆台内设置有三叉支撑杆。

5.按权利要求1或2所述的氮化硼纳米管合成装置，其特征在于所述的供气装置包括气源(5)、减压阀(6)、流量控制计(7)、气体干燥器(8)，其中气源可供氨气、氮气、氢气和氩气，气源(5)连接减压阀(6)，四种气源并列排列，减压阀连接主导气管，主导气管连接流量控制计(7)，流量控制计(7)连接气体干燥器(8)，气体干燥器(8)连接进气总阀(19)。

6.按权利要求1或2所述的氮化硼纳米管合成装置，其特征在于所述的抽气装置包括真空泵(9)、针型阀(10)，真空泵(9)的抽气口通过针形阀(10)与进气总口相连通。

7.按权利要求1或2所述的氮化硼纳米管合成装置，其特征在于所述的气体循环和尾气处理装置包括气体循环泵(11)、循环气体流量控制计(12)、滤尘器(13)、气体检测仪(14)、尾气处理装置(15)、尾气流量控制计(16)，所述的滤尘器(13)与气体检测仪(14)连接，气体检测仪(14)连接尾气处理装置(15)，尾气处理装置(15)与气体循环泵(11)相连接，气体循环泵的出气口连接循环气体流量控制计(12)，循环气体流量控制计(12)与气体干燥器(8)相连，气体循环泵的进气口与尾气处理装置(15)相连，尾气流量控制计(16)连接尾气处理装置(15)，尾气经过气体检测仪(14)到达尾气处理装置(15)，经过尾气处理后，回收的未反应气体经过气体循环泵(11)排出，到达循环气体流量控制计(12)，循环气体流量控制计(12)控制进入干燥器(8)气体流量大小，分离出的新生成的H₂和H₂O蒸汽通过尾气流量控制计(16)烧掉或排出。