[发明专利]一种基于偏振相移显微干涉术的超精表面测量系统

权利要求书

1.一种偏振相移显微干涉系统，用于实现超精密表面轮廓和结构的测量，该系统包括光源(1)、准直镜(2)、线偏振器(3)、消偏振分光棱镜(4)、显微镜(5)、偏振分光棱镜(6)、参考平面镜(8)、1/4波片(9)、检偏器(10)、成像设备(11)和数据处理系统(12)，

从光源(1)发出的单色光穿过准直镜(2)和线偏振器(3)成为线偏振准直光，被消偏振分光棱镜(4)反射进入显微镜(5)，出射后被偏振分光棱镜(6)垂直分成沿X轴方向的s分量和沿Y轴方向的p分量，所述s分量入射到参考平面镜(8)后反射回来作为参考光，所述p分量透射通过偏振分光棱镜(6)后，入射到被测表面(7)，记录下被测表面7的高度信息后反射回来作为测量光；所述参考光和测量光在所述该偏振分光棱镜(6)的分光平面处汇合，再一同穿过1/4波片(9)以及检偏器(10)后发生偏振相移干涉，所述成像设备(11)探测得到干涉图，输入数据处理系统(12)进行处理后即得到被测表面微观轮廓和结构。

2.根据权利要求1所述的一种偏振相移显微干涉系统，其特征在于，所述数据处理系统(12)的处理包括对所述干涉图进行相位提取与相位解包裹处理，从而得到相位分布，根据所述相位分布与被测表面高度的关系，即可得到被测表面微观轮廓和结构。

3.根据权利要求1或2所述的一种偏振相移显微干涉系统，其特征在于，所述的相移干涉是通过1/4波片(9)和检偏器(10)组合，并旋转检偏器(10)来实现。

4.根据权利要求1-3之一所述的一种偏振相移显微干涉系统，其特征在于，将偏振相移结合于显微干涉，构成偏振相移显微干涉系统，以实现表面微观轮廓和结构的相移干涉测量。