[发明专利]清扫单元、具有它的处理液涂敷装置和利用它的清扫方法

说明书

技术领域

本发明涉及在基板上涂敷药液的喷墨方式的处理液涂敷装置，更详细地说，涉及清扫喷出处理液的喷嘴的清扫单元、具有它的处理液涂敷装置和利用它的清扫方法。

背景技术

显示影像的液晶显示装置由蒸镀了多种薄膜的两块基板和夹在两块基板之间的液晶层构成。通常，由于在各基板上形成的薄膜具有多种形状的图案，所以为了保证图案的精密度，通过蒸镀工序和光刻工序来形成。为了这样地形成一个薄膜，由于利用使用昂贵的掩膜的光刻工序，所以提高了制造成本，增加了制造工序的时间。

最近，作为代替这样的薄膜形成方法的方案，使用了利用喷墨打印方式的薄膜形成方法。喷墨打印方式由于在基板的特定位置上涂敷药液形成薄膜，所以不需要另外的蚀刻工序。这样的喷墨打印方式可以在形成液晶显示装置的彩色滤光片或定向膜等中使用。

通常，喷墨打印装置具有在基板上涂敷药液的喷头以及清扫喷头的第一清扫单元和第二清扫单元。喷头具有喷出药液的多个喷嘴，把药液涂敷在基板的特定位置上。通常，在喷墨打印装置中使用的药液的粘性高、挥发性强，容易凝固。特别是在涂敷药液后，药液可以残留在喷嘴的喷出口周围，这样的残留药液凝固在喷出口的周围，会堵塞喷嘴的喷出口，或者在此后涂敷药液时，涂敷在基板上，从而形成不均匀的膜。

为了防止这种情况，第一清扫单元和第二清扫单元清扫多个喷嘴，从而提高产品的成品率。第一清扫单元刮掉残存在喷头的药液喷出面上的药液，从而第一次去除上述药液喷出面上的药液，第二清扫单元以物理的方式擦拭药液喷出面，去除药液喷出面上的药液。具体地说，第一清扫单元具有刮板，刮板把药液喷出面上的药液刮掉。第二清扫单元具有擦拭件，擦拭件与药液喷出面接触，擦掉药液。

特别是当刮板在刮掉药液的过程中与喷嘴碰撞时，为了防止损坏喷嘴，刮板要由柔软材料构成。这样的柔软材料的表面摩擦系数高，难以把表面加工成平坦面。因此，即使在由第一清扫单元进行第一次清扫后，在药液喷出面上仍附有很多药液，所以在第二次清扫时，增加了擦拭件的使用量。此外，附在刮板上端部的药液难以流到刮板的下端部，并且加工单价增加，难以更换。

专利文献1：日本专利公开公报特开2006-248102号

发明内容

本发明的目的是提供一种可以提高对喷出处理液的喷嘴进行清扫的清扫效率的清扫单元。

此外，本发明的目的是提供一种具有上述清扫单元的药液涂敷装置。

此外，本发明的目的是提供一种利用上述清扫单元对药液涂敷装置的喷嘴进行清扫的清扫方法。

按照用于实现上述本发明目的的一个特征的清扫单元，其具有刮板和固定构件。

刮板为板形，刮掉残存在喷出处理液的喷头的处理液喷出面上的处理液。固定构件连接所述刮板，固定所述刮板的位置。

具体地说，所述固定构件包括第一固定部和第二固定部。第一固定部配置成与所述刮板的一个面相对。第二固定部设置成夹着所述刮板与所述第一固定部相对，与所述第一固定部连接，把所述刮板固定在所述第一固定部上。

另一方面，所述刮板包括基底板，该基底板由压缩纸(压縮紙)材料构成。

此外，所述刮板还可以包括涂层。涂层涂敷在所述基底板的外面，由合成树脂材料构成。

此外，按照用于实现上述本发明目的的一个特征的处理液涂敷装置，其具有基板支承构件、至少一个喷头、第一清扫单元以及第二清扫单元。

对象物放置在基板支承构件上。喷头在放置于所述基板支承构件上的对象物上涂敷处理液。第一清扫单元刮掉残存在所述喷头的处理液喷出面上的处理液。第二清扫单元擦掉残存在所述处理液喷出面上的处理液。

具体地说，所述第一清扫单元包括刮板。刮板为板形，刮掉残存在所述处理液喷出面上的处理液。

所述第一清扫单元还可以包括固定构件。固定构件与所述刮板连接，固定所述刮板的位置。

此外，按照用于实现上述本发明目的的一个特征的药液涂敷装置的清扫方法如下所述。首先，用固定构件固定板形的刮板。然后，把喷出处理液的喷头配置在所述刮板的上部。然后，所述刮板在配置成与所述喷头的处理液喷出面垂直的状态下，刮掉残存在所述处理液喷出面上的处理液。

按照本发明，由于刮板为板形，其形状容易改变，所以可以使刮板与残存在喷出面上的处理液的接触面积最小。由此，清扫单元可以提高清扫效率，并且可以降低制造成本。

附图说明

图1是简要表示本发明一个实施方式的薄膜形成装置的立体图。

图2是表示图1所示的喷墨打印部的立体图。

图3是表示图2所示的喷墨打印部的俯视图。