[发明专利]一种三压电悬臂梁驱动的MEMS微镜及其制作方法无效
| 申请号： | 201010229832.2 | 申请日： | 2010-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN101937128A | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 曹茂盛;赵全亮;袁杰 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 压电 悬臂梁 驱动 mems 及其 制作方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种三压电悬臂梁驱动的MEMS微镜，其特征在于包括：一个微反射镜面(4)、三个压电悬臂梁、三个弓形弯曲弹性窄梁(3)，压电悬臂梁由硅悬臂梁(1)表面固定厚度大于2μm的PZT驱动膜(2)组成，三个压电悬臂梁分别通过三个弓形弯曲弹性窄梁(3)与微反射镜面(4)连接，三个压电悬臂梁与微反射镜面(4)均在同一平面内，且压电悬臂梁两两之间呈120°夹角分布。
2.一种三压电悬臂梁驱动的MEMS微镜的制作方法，其特征在于具体步骤如下：
1)运用溶胶-凝胶法在具有图形化电极的Pt/Cr/SiO2/Si基片上制备厚度大于2μm的PZT压电厚膜，并经过湿法刻蚀技术完成PZT厚膜的图形化工艺，形成三个压电悬臂梁图形；
2)利用溅射和剥离工艺在PZT基压电厚膜表面制作Au/Cr双层金属上电极和微反射镜面图形；
3)利用干法刻蚀技术分别在正面和背面刻蚀Si基片，形成三压电悬臂梁驱动的MEMS微镜。
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