[发明专利]快速温度程序(RTP)加热系统及方法

权利要求书

1.一种快速温度程序(RTP)加热系统，用以对一光伏组件中间产品加热，该光伏组件中间产品具有一玻璃基板、涂布于该玻璃基板上的一层钼(Mo)层以及成形中的一层光吸收层，其特征在于，该加热系统包含有：

一腔室，内部用以置放一该光伏组件中间产品；

一承台，具有良好导热性及高比热且位于该腔室内的下方，用以承接该光伏组件中间产品，并对该光伏组件中间产品的下表面进行导热；

至少一加热组件，设置于该腔室内的上方，向下发出红外线来对该光伏组件中间产品的上表面进行加热；该加热组件所发出的红外线是限定于预定的波长，因此有大部分会被该钼层所反射，减少直接对该玻璃基板的加热，而主要对成形中的光吸收层加热；

多个温度传感器，设于该腔室内，用以感测该光伏组件中间产品的上表面以及下表面的温度；以及

一控温装置，连接于该等温度传感器、该加热组件以及该承台，用以控制该加热组件以及该承台所发出的热源。

2.根据权利要求1所述的快速温度程序(RTP)加热系统，其特征在于：该承台具有一下热源，该下热源是用以使对该承台的表面提供热源，借以对该光伏组件中间产品的下表面进行加热。

3.根据权利要求1所述的快速温度程序(RTP)加热系统，其特征在于：该承台的表面范围不超出该光伏组件中间产品的下表面。

4.根据权利要求1所述的快速温度程序(RTP)加热系统，其特征在于：还包含有一低导热性的支架，该支架遮蔽该承台周围，使该承台不会被该加热组件所发出的红外线所照射。

5.根据权利要求1所述的快速温度程序(RTP)加热系统，其特征在于：在该加热组件对该光伏组件中间产品加热时，该光伏组件中间产品的上表面的温度高于下表面的温度。

6.根据权利要求5所述的快速温度程序(RTP)加热系统，其特征在于：在加热时，该光伏组件中间产品的上表面温度加热至摄氏500度以上，该光伏组件中间产品的下表面温度在摄氏425度以上。

7.根据权利要求1所述的快速温度程序(RTP)加热系统，其特征在于：该加热组件所发出的红外线波长介于之间。

8.根据权利要求1所述的快速温度程序(RTP)加热系统，其特征在于：该加热组件所发出的红外线被该钼层所反射的部分大于80％。

9.一种快速温度程序(RTP)加热方法，用以对一光伏组件中间产品加热，该光伏组件中间产品具有一玻璃基板、涂布于该玻璃基板上的一层钼(Mo)层以及成形中的一层光吸收层，其特征在于，该加热方法包含有下列步骤：

a)将该光伏组件中间产品置于一承台上；

b)借由一加热组件对该光伏组件中间产品的上表面进行加热，以及借由该承台对该光伏组件中间产品的下表面进行加热，其中，该加热组件借由发出红外线来对该光伏组件中间产品的上表面进行加热，该加热组件所发出的红外线限定于预定的波长，为此有大部分会被该钼层所反射，减少直接对该玻璃基板的加热，而主要对成形中的光吸收层加热；借此，可控制加热的程度，而使该光伏组件中间产品的上表面的温度高于该玻璃基板的变形温度(deformation temperature)，并使下表面的温度低于该玻璃基板的变形温度。

10.根据权利要求9所述的快速温度程序(RTP)加热方法，其特征在于：该加热组件所发出的红外线波长介于之间。

11.根据权利要求9所述的快速温度程序(RTP)加热方法，其特征在于：在步骤b)的加热时，该光伏组件中间产品的上表面温度加热至摄氏500度以上，该光伏组件中间产品的下表面温度加热至摄氏425度以上。