[发明专利]盘状物固定装置有效
申请号: | 201010231111.5 | 申请日: | 2010-07-14 |
公开(公告)号: | CN102097352A | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
发明(设计)人: | 张豹;吴仪;张晓红;韩丽娜 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹 |
地址: | 100016 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 盘状物 固定 装置 | ||
1.一种盘状物固定装置,其特征在于,包括:
卡盘主体;
转动轴,其与所述卡盘主体连接,并带动所述卡盘主体绕其转动;
凸轮,其通过轴承安装在所述卡盘主体上,并围绕所述转动轴转动;
至少一个拉伸弹簧,其连接于所述凸轮与所述卡盘主体之间,使得所述凸轮能够相对于所述卡盘主体转动;
至少三个夹持元件,其设置于所述卡盘主体边缘;以及
至少三个压缩弹簧,其一端与所述卡盘主体接触,另一端设置于所述夹持元件朝向所述凸轮的一端,通过其弹性力将所述夹持元件朝向所述凸轮的一端顶在所述凸轮上,并且所述夹持元件的与所述凸轮的接触端沿所述夹持元件与所述凸轮的接触面滑动,从而使所述夹持元件卡紧所述盘状物。
2.如权利要求1所述的盘状物固定装置,其特征在于,所述卡盘主体上设有限制槽,所述夹持元件穿过所述限制槽与所述凸轮接触。
3.如权利要求1所述的盘状物固定装置,其特征在于,所述卡盘主体与所述凸轮上均设置有挡块,二者的设置位置为使得二者接触时使所述夹持元件处于卡紧状态。
4.如权利要求1所述的盘状物固定装置,其特征在于,所述拉伸弹簧一端固定于所述凸轮上,另一端穿过所述凸轮上的滑槽并固定于所述卡盘主体上。
5.如权利要求1所述的盘状物固定装置,其特征在于,在所述卡盘主体上表面设置至少三个盘状物支撑部。
6.如权利要求1-5中任一项所述的盘状物固定装置,其特征在于,所述凸轮上具有至少一个长圆孔。
7.如权利要求6所述的盘状物固定装置,其特征在于,还包括限制杆,可以插入或拔出所述长圆孔内。
8.如权利要求7所述的盘状物固定装置,其特征在于,还包括驱动装置,所述驱动装置驱动所述限制杆插入或拔出所述长圆孔。
9.如权利要求1-5中任一项所述的盘状物固定装置,其特征在于,在所述夹持元件与凸轮接触的一端设置滑轮或者轴承。
10.如权利要求1-5中任一项所述的盘状物固定装置,其特征在于,所述夹持元件夹持所述盘状物时的夹持点离所述卡盘主体中心的距离小于所述盘状物半径。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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