[发明专利]硬脆材料化学机械抛光用无磨料抛光液有效
| 申请号： | 201010231307.4 | 申请日： | 2010-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN101864247A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 李军;朱永伟;左敦稳;张彦;高平;蒋毕亮;杨涛;周睿洋;王军 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C09G1/04 | 分类号： | C09G1/04 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 瞿网兰 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 材料 化学 机械抛光 磨料 抛光 | ||
【权利要求书】：
1.一种硬脆材料化学机械抛光用无磨料抛光液，其特征在于它是由腐蚀剂，腐蚀抑制剂，表面活性剂，PH调节剂以及去离子水混合组成，其质量百分比分别为：
腐蚀剂 0.5%-40%；
腐蚀抑制剂 0.5%-20%；
表面活性剂 0.5%-15%；
PH调节剂 0.1%-10%；
去离子水 30%-95%。
2.根据权利要求1所说的无磨料抛光液，其特征在于所说的腐蚀剂为氢氟酸、磷酸、磷酸盐和焦磷酸盐的混合液或草酸、浓硫酸、硝酸、盐酸和醋酸中的一种或多种的混合液。
3.根据权利要求1所说的无磨料抛光液，其特征在于所说的腐蚀抑制剂为氯化铵、氟化铵和溴化铵中的一种或几种的组合。
4.根据权利要求1所说的无磨料抛光液，其特征在于所说的表面活性剂为聚氧乙烯烷基酚、脂肪酸聚氧乙烯脂、聚氧乙烯脂肪酸脂、聚氧乙烯酰胺、聚氧乙烯胺、烷基酚聚氧乙烯醚和高碳脂肪醇聚氧乙烯醚中的一种或几种的组合。
5.根据权利要求1所说的无磨料抛光液，其特征在于所说的PH调节剂包括：氢氧化钾、氢氧化钠、氨水、羟基胺、四甲基氢氧化铵、三乙醇胺、乙醇钠和乙酸钠中的一种或几种的组合。
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