[发明专利]单晶硅棒线开方夹具

说明书

技术领域

本发明涉及硅棒线开方辅助定位工具技术领域，尤其涉及单晶硅棒线开方夹具。

背景技术

单晶硅棒进行线开方前需要将硅棒与晶托用热熔胶粘接，通过晶拖在线开方设备中固定，但是这样的粘结存在以下问题：1.粘接后易出现晶棒与晶托不同心，造成开方后晶棒局部或整根报废；2.在粘棒操作时，造成的崩边、未滚磨；3.粘接步骤多、时间长，且操作要求高，每根棒需要耗时使用20min；4.现有粘接工序的工装夹具、辅助设备如热熔胶、胶枪等成本昂贵；5.粘棒后需额外再检测同心度。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种新的单晶硅棒线开方夹具，免去粘结工序。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种单晶硅棒线开方夹具，包括晶托，在晶托的外周设置夹持硅棒的弹性卡爪。

弹性卡爪有四个。

弹性卡爪设置在爪座上，弹性卡爪通过爪座与晶托固定。

本发明的有益效果是：使用本工具，定心精度较高，夹紧方便，在夹紧过程中不损伤工件表面，能有效的控制粘圆棒岗位的崩边、未滚磨不良，节省时间，每根棒仅需要耗时5min，从而提升了良品率及产能。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的卡爪的结构示意图；

图2是本发明中夹具与硅棒的安装示意图；

图3是本发明中硅棒通过本夹具安装入线开方设备的示意图；

图中：1.晶托，2.弹性卡爪，3.硅棒，4.爪座。

具体实施方式

如图1、2和3所示，一种单晶硅棒线开方夹具，包括晶托1，在晶托1的外周设置夹持硅棒3的弹性卡爪2。硅棒3插入本夹具，弹性卡爪2支撑硅棒3，并保证硅棒3与晶托1同心。弹性卡爪2有四个。为了防止弹性卡爪2划伤硅棒3，弹性卡爪2与硅棒3接触的部位为圆滑设计。弹性卡爪2设置在爪座4上，爪座4与晶托1过盈配合加螺丝紧固。

操作步骤如下：

1.对硅棒3的两端需要夹持的部位的外圆进行加工，具体为底部向上至150mm处范围内的外圆；

2.对底部端面进行加工，要求底部端面与中心线的垂直度＜0.1mm；

3.对加工好的硅棒3进行装夹，即将硅棒3装入带有卡爪的晶托1；

4.如图3所示，硅棒3安装到线开方设备上，装夹的硅棒3不需检测，可依靠夹具保证同心度，只需对夹具可定期校验。