[发明专利]一种合成高纯砷烷的方法

权利要求书

1.一种合成高纯砷烷的方法，包括下述步骤：

(1)、粗制砷烷的合成过程：先用砷粉和锌粉制成砷化锌，再与稀硫酸反应得到粗制砷烷；

(2)、高纯砷烷的纯化过程：将步骤(1)中制得的粗制砷烷先用液氮冷阱低温真空分离，得到的挥发砷烷再用分子筛进行吸附干燥，最后采用镓-铟合金液体深吸附脱水、氧，得到高纯砷烷。

2.根据权利要求1所述的合成高纯砷烷的方法，其特征在于：所述步骤(1)中砷粉和锌粉制成砷化锌是指，将砷粉和锌粉充分搅匀后置于抽真空后的反应器中，再充入高纯惰性气体至常压，然后加热，在400～450℃下反应，生成砷化锌。

3.根据权利要求2所述的合成高纯砷烷的方法，其特征在于：步骤(1)中合成砷化锌时反应器中充入的高纯惰性气体为氩气或氮气，加热方式为电加热。

4.根据权利要求1所述的合成高纯砷烷的方法，其特征在于：所述步骤(1)中砷化锌与稀硫酸反应得到粗制砷烷的过程为，将砷化锌置于抽真空后充氮气保护的砷烷反应器中，再将配好的稀硫酸置于贮酸罐中，然后逐步向砷烷反应器中加入稀硫酸，搅拌，使砷化锌与稀硫酸反应完全，制得粗制砷烷。

5.根据权利要求1所述的合成高纯砷烷的方法，其特征在于：步骤(2)中的液氮冷阱低温真空分离是指在步骤(1)反应结束后用液氮冷阱捕集粗制砷烷气，将冷阱中的不凝气用真空泵抽去，然后取下冷阱外面的液氮罐，将砷烷挥发，得到挥发砷烷。

6.根据权利要求1所述的合成高纯砷烷的方法，其特征在于：所述的镓-铟合金中还添加有金属铝屑或者铝片。