[发明专利]真空移动装置及方法有效
| 申请号： | 201010234547.X | 申请日： | 2010-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN102337509A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 陈炯 | 申请（专利权）人： | 上海凯世通半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/00;C23C16/54;C23C16/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 薛琦;朱水平 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 移动 装置 方法 | ||
1.一种真空移动装置，用于在一真空腔中移动一移动对象，其特征在于，其包括至少一个设于该真空腔中的两端封闭的波纹管，每个波纹管的一端均固设于该真空腔中、另一端则均与该移动对象相连，每个波纹管中均充有介质、且均通过管道与该真空腔外的一介质源连通，该介质源通过独立地控制每个波纹管中的介质压强使各个波纹管进行伸缩。
2.如权利要求1所述的真空移动装置，其特征在于，该移动对象具有一旋转中心，将各个波纹管中的介质压强以及各个波纹管与该移动对象的相连位置设置为：所有波纹管的伸缩对该移动对象施加的作用力的合力不为零、但相对于该旋转中心的合力矩为零。
3.如权利要求1所述的真空移动装置，其特征在于，该移动对象具有一旋转中心，将各个波纹管中的介质压强以及各个波纹管与该移动对象的相连位置设置为：所有波纹管的伸缩对该移动对象施加的作用力的合力为零、但相对于该旋转中心的合力矩不为零。
4.如权利要求1所述的真空移动装置，其特征在于，该移动对象具有一旋转中心，将各个波纹管中的介质压强以及各个波纹管与该移动对象的相连位置设置为：所有波纹管的伸缩对该移动对象施加的作用力的合力不为零、且相对于该旋转中心的合力矩也不为零。
5.如权利要求1-4中任意一项所述的真空移动装置，其特征在于，该真空移动装置还包括设于该真空腔中的一导轨，用于对该移动对象的移动进行引导。
6.一种利用权利要求1所述的真空移动装置实现的真空移动方法，其特征在于，利用该介质源独立地控制每个波纹管中的介质压强以使各个波纹管进行伸缩，并利用所有波纹管的伸缩对该移动对象施加的作用力的合力以及合力矩，使该移动对象进行平移和/或转动。
7.如权利要求6所述的真空移动方法，其特征在于，该移动对象具有一旋转中心，将各个波纹管中的介质压强以及各个波纹管与该移动对象的相连位置设置为：所有波纹管的伸缩对该移动对象施加的作用力的合力不为零、但相对于该旋转中心的合力矩为零。
8.如权利要求6所述的真空移动方法，其特征在于，该移动对象具有一旋转中心，将各个波纹管中的介质压强以及各个波纹管与该移动对象的相连位置设置为：所有波纹管的伸缩对该移动对象施加的作用力的合力为零、但相对于该旋转中心的合力矩不为零。
9.如权利要求6所述的真空移动方法，其特征在于，该移动对象具有一旋转中心，将各个波纹管中的介质压强以及各个波纹管与该移动对象的相连位置设置为：所有波纹管的伸缩对该移动对象施加的作用力的合力不为零、且相对于该旋转中心的合力矩也不为零。
10.如权利要求6-9中任意一项所述的真空移动方法，其特征在于，该真空移动装置还包括设于该真空腔中的一导轨，利用该导轨对该移动对象的移动进行引导。
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