[发明专利]一种载板回收控制方法、系统及一种薄膜沉积设备、方法

权利要求书

1.一种载板回收控制方法，其特征在于，包括：

将载板回收划分为三个控制部分，分别是装载台的升降、卸载台的升降和卸载台到装载台的传输；

对于卸载台到装载台的传输，根据所有可同时执行的传输动作构建状态机进行控制，包括以下步骤：

在卸载台、装载台以及卸载台与装载台之间的返回台中选择状态点，并以所选状态点将卸载台到装载台的传输划分为多个状态，每个状态在满足传输条件时执行相应的传输动作，并向另一个状态转换；

各个状态之间的转换包含所有可同时执行的传输动作。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过以下方式选择状态点：

在卸载台、装载台以及卸载台与装载台之间的返回台中，间隔设置状态点。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：

当卸载台与装载台之间的返回台依次为第一返回台、第二返回台和第三返回台共三个时，在卸载台、装载台以及卸载台与装载台之间的返回台中选择第一返回台和第三返回台做为状态点。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于：

选择第一返回台和第三返回台为状态点将卸载台到装载台的传输划分为以下四个状态：

第三返回台有载板、第一返回台有载板；

第三返回台有载板、第一返回台无载板；

第三返回台无载板、第一返回台有载板；

第三返回台无载板、第一返回台无载板。

5.根据权利要求1或4所述的方法，其特征在于，所述每个状态满足的传输条件包括：

传输的源位置有载板，传输的目的位置无载板。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：

对于装载台的升降和卸载台的升降，当满足上升条件时则上升到高位，否则在低位等待。

7.一种载板回收控制系统，其特征在于，包括：

回收划分模块，用于将载板回收划分为三个控制部分，分别是装载台的升降、卸载台的升降和卸载台到装载台的传输；

传输控制模块，用于针对卸载台到装载台的传输，根据所有可同时执行的传输动作构建状态机进行控制，包括以下子模块：

状态点选择子模块，用于在卸载台、装载台以及卸载台与装载台之间的返回台中选择状态点；

状态划分子模块，用于以所选状态点将卸载台到装载台的传输划分为多个状态；

状态转换子模块，用于在每个状态满足传输条件时执行相应的传输动作，并向另一个状态转换；各个状态之间的转换包含所有可同时执行的传输动作。

8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于：

所述状态点选择子模块在卸载台、装载台以及卸载台与装载台之间的返回台中，间隔设置状态点。

9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于：

当卸载台与装载台之间的返回台依次为第一返回台、第二返回台和第三返回台共三个时，所述状态点选择子模块在卸载台、装载台以及卸载台与装载台之间的返回台中选择返回台第一返回台和第三返回台做为状态点。

10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于：

当选择第一返回台和第三返回台为状态点时，所述状态划分子模块将卸载台到装载台的传输划分为以下四个状态：

第三返回台有载板、第一返回台有载板；

第三返回台有载板、第一返回台无载板；

第三返回台无载板、第一返回台有载板；

第三返回台无载板、第一返回台无载板。

11.根据权利要求7或10所述的系统，其特征在于，所述每个状态满足的传输条件包括：

传输的源位置有载板，传输的目的位置无载板。

12.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，还包括：

装载台升降控制模块，用于控制装载台的升降，当满足上升条件时则上升到高位，否则在低位等待；

卸载台升降控制模块，用于控制卸载台的升降，当满足上升条件时则上升到高位，否则在低位等待。

13.一种薄膜沉积设备，其特征在于，包括如权利要求7-12任意一项权利要求所述的载板回收控制系统。

14.一种薄膜沉积方法，其特征在于，包括如权利要求1-6任意一项权利要求所述的载板回收控制方法。