[发明专利]已包装石英玻璃坩埚用起重机装置及该坩埚的捆包方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种供例如用于单晶硅的提拉的石英玻璃坩埚(quartz glass crucible)，特别供已包装(packaged)的石英玻璃坩埚的搬送用的起重机装置及使用该装置的捆包方法。

背景技术

一般来说，石英玻璃坩埚(以下，也简称做坩埚)在制造后会被清洗，然后经检查过程后装袋出货。近年来，伴随半导体材料的高纯度化，正努力尝试将对该制造中直接使用的坩埚的污染抑制在最小限度。例如，在将坩埚用于单晶硅的提拉时，要进一步利用超纯水(ultrapure water)等进行清洗以供使用。而且，从提高单晶硅的制造效率的观点考虑，坩埚的尺寸有直径变大的倾向，而此种大直径的坩埚的操作困难，且在制造后的检查及装袋工序中，坩埚极其容易受到污染，尤其是残存在坩埚外周部的粉末会进入到内周部而造成污染。

为了避免出现此种污染的问题，有效的方法是将清洗后的洁净状态下的坩埚不经人手而进行机械包装，但对大型的坩埚进行包装则未必容易。特别是，虽然期望尽可能避免坩埚的内周部的污染，但由于仅将坩埚整体装袋，而坩埚外周的附着物仍有可能进入到内周部，从而此时无法将内周部保持为洁净状态。此外，在将坩埚整体的包装开封后直到设置在提拉装置中为止的作业中，坩埚内部也有可能被污染。

作为解决所述各问题的技术，在专利文献1中提出了一种坩埚的自动清洗密封装置，该装置可在坩埚的清洗、干燥之后，对该洁净坩埚的至少开口部进行自动密封，并进一步将坩埚插入至乙烯制的袋状片材中进行包装。利用该装置将坩埚的开口部密封并对该坩埚进行装袋均为机械化操作，由此在将包装的坩埚开封后直到设置在提拉装置中为止的期间内，可避免坩埚的内周部的污染。

[现有技术文献]

[专利文献1]

专利文献1：日本专利特开2001-10611号公报

此处，就以所述方式包装的坩埚而言，惯例是经过例如收容在瓦楞纸箱或木箱等的容器(集装箱)中的捆包后出货。在该捆包中，基本上利用人手进行如下作业：因为要对装在聚乙烯(polyethylene)制袋等的袋中的坩埚进行处理，也就是必需要对在与袋之间容易滑动的坩埚进行搬运(handling)，所以要由2名以上的作业人员抱住坩埚并将其搬运到集装箱内。

尤其在操作大型化的坩埚时，所述作业会对作业人员造成较大的负担，因而希望该情况得到改善。而且，如所述般，直到坩埚的包装为止均为自动化操作，从而包装外侧的洁净度也得以提高，然而，之后的捆包作业要利用人手来进行，从而理想的是应避免引起污染，因此也要求对该点进行改善。

发明内容

对此，本发明的目的在于提供一种使已包装坩埚的搬运无需依靠人手而由机械实现的适于已包装坩埚的搬运的起重机装置及使用该装置的已包装坩埚的捆包方法。

本发明的主要构成为如下所述。

(1)一种已包装石英玻璃坩埚用起重机装置，能够在配置着已包装的石英玻璃坩埚的吊起位置的上方与配置着捆包用集装箱的放下位置的上方之间的路径上来回移动，且设置成从该路径起在所述吊起位置及放下位置的各位置处，相对于所述路径可进行升降，其中：

包括沿所述升降方向延伸的4根臂部，将该4根臂部配置在四边形的顶点处，同时将该四边形的对角线上的一对臂部设置成彼此可进退，且各臂部在前端具有沿所述臂部的前进方向延伸的爪部。

(2)一种已包装石英玻璃坩埚的捆包方法，其中：

每当利用起重机装置吊起已包装的石英玻璃坩埚，并将该起重机装置移动至四角柱状(quadratic prism)的捆包用集装箱为止，并将石英玻璃坩埚放下至该捆包用集装箱内时，

所述起重机装置包括沿所述吊起方向延伸的4根臂部，将该4根臂部配置在与所述捆包用集装箱的四角相对应的四边形的顶点处，同时将该四边形的对角线上的一对臂部设置成彼此可进退，且在各臂部的前端设置着沿所述臂部的前进方向延伸的爪部，使所述4根臂部与所述包装为非接触，并由所述爪部来支撑已包装的石英玻璃坩埚的底面，由此进行所述吊起、移动及放下，而将石英玻璃坩埚装入至捆包用集装箱内。

[发明的效果]

根据本发明，可提供一种特别适合于难以进行搬运的已包装的坩埚的起重机装置。因此，可使用该起重机装置来机械化进行以前不得不手动进行的已包装坩埚的捆包作业，从而除了提高作业效率之外，还可在洁净的环境下进行捆包作业，并且也有助于维持包装的外侧的洁净度。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明