[发明专利]电涡流金属膜厚度终点检测装置有效
| 申请号： | 201010236186.2 | 申请日： | 2010-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN102049733A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 孟永钢;曲子濂;乐承宁;赵德文;赵乾;路新春 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B24B49/10 | 分类号： | B24B49/10 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市10*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 涡流 金属膜 厚度 终点 检测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种电涡流金属膜厚度终点检测装置，其特征在于：该装置包括电涡流传感器、多频信号发生器、导电滑环、导电定环、前置电路以及含有数据处理与控制程序的计算控制单元；所述的电涡流传感器安装在抛光机的抛光台内且与工件对应的抛光垫下方的一个阶梯孔内，电涡流传感器括线圈、壳体和压紧螺母，壳体为一个空心的阶梯轴，所述的线圈安装在阶梯轴顶部，压紧螺母设置在抛光台的上表面和阶梯轴的上轴肩之间，压紧螺母的内孔与阶梯轴配合，并通过外螺纹与抛光台连接；所述的多频信号发生器通过双芯屏蔽数据线经前置电路、导电滑环和导电定环与电涡流传感器连接，为电涡流传感器提供激励信号；因金属膜厚度变化引起的电涡流传感器的电感变化信号通过双芯屏蔽数据线经前置电路、导电滑环和导电定环输入到计算控制单元；当晶圆表面的金属膜厚到达终点厚度值时，该装置控制抛光机停止抛光。
2.根据权利要求1所述的一种电涡流金属膜厚度终点检测装置，其特征在于：电涡流传感器的线圈为单层空芯线圈。
3.根据权利要求1所述的一种电涡流金属膜厚度终点检测装置，其特征在于：所述的多频信号发生器为扫频模式或多频叠加模式。
4.根据权利要求1所述的一种电涡流金属膜厚度终点检测装置，其特征在于：在阶梯轴的下轴肩下部设有密封圈。
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