[发明专利]单晶硅电池片高效制绒专用腐蚀溶液无效

专利信息
申请号: 201010238046.9 申请日: 2010-07-28
公开(公告)号: CN101974755A 公开(公告)日: 2011-02-16
发明(设计)人: 何垚 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: C23F1/40 分类号: C23F1/40
代理公司: 常州市维益专利事务所 32211 代理人: 周祥生
地址: 213200 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 单晶硅 电池 高效 专用 腐蚀 溶液
【权利要求书】:

1.一种单晶硅电池片高效制绒专用腐蚀溶液,其特征是:它由氢氧化钾和1,4环己二醇混合而成,其中,氢氧化钾的浓度控制在15-25g/L,1,4环己二醇的浓度控制在45-55g/L。

2.单晶硅电池片高效制绒专用腐蚀溶液的配制方法如下:

准备一只腐蚀槽,在其内配制成浓度为15-25g/l的氢氧化钾溶液,并加入液态的1,4环己二醇,使其浓度控制在45-55g/l。

3.使用单晶硅电池片高效制绒专用腐蚀溶液进行制绒方法如下:

第一步,制绒前的准备:先准备好两只腐蚀槽,在第一只腐蚀槽中由氢氧化钾溶液和去离子水配制成浓度为30%的氢氧化钾溶液,并升温至60℃;

在第二只腐蚀槽中加入单晶硅电池片高效制绒专用腐蚀溶液,其中氢氧化钾浓度为20g/l,1,4环己二醇的浓度为50g/l,并升温至85℃;

第二步,去除硅片表面的机械损伤层:将单晶硅片放入第一只腐蚀槽中,升温至60℃,反应30s,即能去除硅片表面的机械损伤;在本步骤中是利用60℃的高温度,30%高浓度氢氧化钾溶液能对硅片进行均匀腐蚀的特性,去除硅片表面的械损伤层;

第三步,清洗:将经过第二步处理后的单晶硅片放入常温的纯水中进行清洗;

第四步,制绒:将第三步清洗过的单晶硅片放入第二只腐蚀槽中,由本发明对之进行腐蚀制绒,将腐蚀溶液的温度控制在85℃,腐蚀时间控制在10分钟即可;在本步骤中是利用高温度、低浓度的氢氧化钾溶液能对硅片的(100)面与(111)面腐蚀速度不同的特性,完成对硅片的制绒;

第五步,将制绒后的单晶硅片按现有技术进行制绒后处理即可。

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