[发明专利]单晶硅电池片高效制绒专用腐蚀溶液无效
申请号: | 201010238046.9 | 申请日: | 2010-07-28 |
公开(公告)号: | CN101974755A | 公开(公告)日: | 2011-02-16 |
发明(设计)人: | 何垚 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/40 | 分类号: | C23F1/40 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
地址: | 213200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶硅 电池 高效 专用 腐蚀 溶液 | ||
1.一种单晶硅电池片高效制绒专用腐蚀溶液,其特征是:它由氢氧化钾和1,4环己二醇混合而成,其中,氢氧化钾的浓度控制在15-25g/L,1,4环己二醇的浓度控制在45-55g/L。
2.单晶硅电池片高效制绒专用腐蚀溶液的配制方法如下:
准备一只腐蚀槽,在其内配制成浓度为15-25g/l的氢氧化钾溶液,并加入液态的1,4环己二醇,使其浓度控制在45-55g/l。
3.使用单晶硅电池片高效制绒专用腐蚀溶液进行制绒方法如下:
第一步,制绒前的准备:先准备好两只腐蚀槽,在第一只腐蚀槽中由氢氧化钾溶液和去离子水配制成浓度为30%的氢氧化钾溶液,并升温至60℃;
在第二只腐蚀槽中加入单晶硅电池片高效制绒专用腐蚀溶液,其中氢氧化钾浓度为20g/l,1,4环己二醇的浓度为50g/l,并升温至85℃;
第二步,去除硅片表面的机械损伤层:将单晶硅片放入第一只腐蚀槽中,升温至60℃,反应30s,即能去除硅片表面的机械损伤;在本步骤中是利用60℃的高温度,30%高浓度氢氧化钾溶液能对硅片进行均匀腐蚀的特性,去除硅片表面的械损伤层;
第三步,清洗:将经过第二步处理后的单晶硅片放入常温的纯水中进行清洗;
第四步,制绒:将第三步清洗过的单晶硅片放入第二只腐蚀槽中,由本发明对之进行腐蚀制绒,将腐蚀溶液的温度控制在85℃,腐蚀时间控制在10分钟即可;在本步骤中是利用高温度、低浓度的氢氧化钾溶液能对硅片的(100)面与(111)面腐蚀速度不同的特性,完成对硅片的制绒;
第五步,将制绒后的单晶硅片按现有技术进行制绒后处理即可。
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