[发明专利]波动探测方法中非线性误差的基波和奇次谐波消除法

权利要求书

1.波动探测方法中非线性误差的基波和奇次谐波消除法，其特征在于，该方法是：在存在对于被测量的周期性的非线性误差的波动信号的通道上，将混频部分或相位检出部分由一路增加到两路，并通过对检出信号中所包含的周期性误差信号的相位做连续的调节或设置，使这两路输出中的周期性误差干扰成分的基波的相位差互为180°或180°+2nπ，其中，n是整数，然后，通过后续的电子学处理来消除或减小这些周期性误差的基波和奇次谐波成分。

2.如权利要求1所述的波动探测方法中非线性误差的基波和奇次谐波消除法，其特征在于，若所述的波动探测方法为光外差干涉测量法，则该光外差干涉测量法中非线性误差的基波和奇次谐波的消除法是：在存在周期性非线性误差的干涉光路上，将光电探测部分由一个增加到两个，并通过连续地调节或设置其至少一路的光电探测器接收到的参考光与测量光之间的相位差，来实现使两个光电探测器接收到的干涉光中的周期性非线性误差干扰成分基波的相位差互为180°或180°+2nπ，其中，n是整数，然后，通过后续的电子学处理来消除或减小非线性误差的基波和奇次谐波成分。

3.如权利要求2所述的波动探测方法中非线性误差的基波和奇次谐波消除法，其特征在于，所述调节或设置光电探测器接收到的参考光与测量光之间的相位差的方法是：将测量光和参考光各分成两束，再分别作差频干涉，得到两路外差干涉光束，分别由两个光电探测器探测，并通过调节至少一个干涉光路中参与干涉的测量光和参考光中的至少一个光束的光程，来调节参与干涉的测量光和参考光的光程差。

4.如权利要求2或3所述的波动探测方法中非线性误差的基波和奇次谐波消除法，其特征在于，所述调节光电探测器接收到的参考光与测量光之间相位差的方法是由两个对称的折射率相等的楔型光学介质块实现的，每个介质块的两个光学面之间具有相同的夹角，在光线入射和出射的位置处，两光学介质块的介质表面垂直于光线；两光学介质块相邻的光学面平行且不垂直于入射和出射光线，在调整相位时，平行的两个光学面间的距离保持不变。

5.如权利要求4所述的波动探测方法中非线性误差的基波和奇次谐波消除法，其特征在于，所述两个楔型光学介质块相平行的光学平面与垂直于光线的平面之间的夹角不大于0.1度。