[发明专利]一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法

权利要求书

1.一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法，其特征在于，采用热丝化学气相沉积装置，以碳化钽包覆钽丝为催化剂，通过热丝化学气相沉积过程制备硅薄膜。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，热丝化学气相沉积具体过程为：于热丝化学气相沉积设备的沉积腔体中放入衬底，将碳化钽包覆钽丝固定在热丝化学气相沉积设备的两个电极上，热丝催化剂到衬底间距离1cm～8cm；对沉积系统抽真空至背景压力小于8×10^-4pa；对碳化钽包覆钽丝通电加热至反应温度1400℃～2000℃，将衬底加热至温度50℃～500℃；向沉积腔体中通入以H₂气为稀释气体的体积浓度为1％～50％的SiH₄气体，调节系统压力1Pa～100Pa，开始热丝化学气相沉积制备硅薄膜。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述衬底为硅片，石英，玻璃，不锈钢和/或陶瓷；向沉积腔体中通入气体的流速为2sccm～100sccm；热丝化学气相沉积时间1min～5h。

4.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述碳化钽包覆钽丝催化剂表面成分为TaC，核心成分主要为Ta，热丝表面TaC和核心金属Ta之间有Ta₄C₃和/或Ta₂C中间过渡层。