[发明专利]化学气相沉积装置以及基板处理装置

权利要求书

1.一种化学气相沉积装置，其特征在于，包括：

腔室，在内部收纳基板；

腔室盖，用于开闭上述腔室；

喷淋头，结合于朝向上述腔室内部的上述腔室盖的一面，向上述腔室内部喷射工艺气体；

铰接部，将上述腔室盖的一侧结合在上述腔室上，使得上述腔室盖可转动；

夹具部，对上述腔室盖的另一侧施加压力，使上述腔室盖接合在上述腔室上；以及

倾斜调节部，在上述夹具部对上述腔室盖的另一侧施加压力的状态下，使上述腔室盖的一侧上升，以此调节上述腔室盖的倾斜。

2.如权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，

上述铰接部包括转动板，该转动板与上述腔室盖的背面隔着间距，并且其一端部铰接在上述腔室上、其另一端部铰接在上述腔室盖上。

3.如权利要求2所述的化学气相沉积装置，其特征在于，

上述倾斜调节部包括调节螺母，该调节螺母结合在上述转动板上且贯通上述转动板，对上述腔室盖的一侧施加压力。

4.如权利要求2所述的化学气相沉积装置，其特征在于，

上述倾斜调节部还包括弹性构件，该弹性构件配置在上述转动板和上述腔室盖之间，弹性支撑上述转动板。

5.如权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，

上述铰接部包括：

转动缸，提供用于转动上述腔室盖的动力；以及

转动连杆，连接上述转动缸和上述腔室盖，将上述转动缸的直线运动转换成旋转运动。

6.如权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，

上述夹具部包括：

壳体，配置于上述腔室的外部；

夹具，铰接在上述壳体上；

接合缸，被收纳于上述壳体的内部，提供用于转动上述夹具的动力；

接合连杆，连接上述接合缸和上述夹具，将上述接合缸的直线运动转换成旋转运动；以及

施压连杆，对上述接合连杆施加压力。

7.如权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于，

分别具备多个上述铰接部和上述倾斜调节部，该多个上述铰接部和上述倾斜调节部在上述腔室盖的一侧相互隔着间距。

8.一种基板处理装置，其特征在于，包括：

腔室，在内部收纳基板；

腔室盖，用于开闭上述腔室；

铰接部，将上述腔室盖的一侧结合到上述腔室上，使得上述腔室盖可转动；

夹具部，对上述腔室盖的另一侧施加压力，使上述腔室盖接合在上述腔室上；以及

倾斜调节部，在上述夹具部对上述腔室盖的另一侧施加压力的状态下，使上述腔室盖的一侧上升，以此调节上述腔室盖的倾斜。

9.如权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，

上述铰接部包括转动板，该转动板与上述腔室盖的背面隔着间距，并且其一端部铰接在上述腔室上、其另一端部铰接在上述腔室盖上。

10.如权利要求9所述的基板处理装置，其特征在于，

上述倾斜调节部包括调节螺母，该调节螺母结合在上述转动板上且贯通上述转动板，对上述腔室盖的一侧施加压力。

11.如权利要求10所述的基板处理装置，其特征在于，

上述倾斜调节部还包括弹性构件，该弹性构件配置在上述转动板和上述腔室盖之间，弹性支撑上述转动板。

12.如权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，

上述铰接部包括：

转动缸，提供用于转动上述腔室盖的动力；以及

转动连杆，连接上述转动缸和上述腔室盖，将上述转动缸的直线运动转换成旋转运动。

13.如权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，

上述夹具部包括：

壳体，配置于上述腔室的外部；

夹具，铰接在上述壳体上；

接合缸，被收纳于上述壳体的内部，提供用于转动上述夹具的动力；

接合连杆，连接上述接合缸和上述夹具，将上述接合缸的直线运动转换成旋转运动；以及

施压连杆，对上述接合连杆施加压力。

14.如权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，

分别具备多个上述铰接部和上述倾斜调节部，该多个上述铰接部和上述倾斜调节部在上述腔室盖的一侧相互隔着间距。