[发明专利]一种用于铜表面的缓蚀组合物及其制备方法有效
| 申请号： | 201010240345.6 | 申请日： | 2010-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN102345129A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 韦家亮 | 申请（专利权）人： | 比亚迪股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F11/167 | 分类号： | C23F11/167 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518118 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 表面 组合 及其 制备 方法 | ||
1.一种用于铜表面的缓蚀组合物，所述缓蚀组合物为含有2-氨基吡啶和多聚磷酸的水溶液，其特征在于，所述缓蚀组合物中还含有8-羟基-7-碘-5-磺基喹啉。
2.根据权利要求1所述的缓蚀组合物，其特征在于，2-氨基吡啶的含量为0.1-2g/L，多聚磷酸的含量为0.5-5g/L，8-羟基-7-碘-5-磺基喹啉的含量为0.1-5g/L。
3.根据权利要求1或2所述的缓蚀组合物，其特征在于，所述缓蚀组合物中还含有抗坏血酸、pH调节剂和pH缓冲剂。
4.根据权利要求3所述的缓蚀组合物，其特征在于，抗坏血酸的含量为0.5-10g/L，pH调节剂的含量为1-10g/L，pH缓冲剂的含量为1-5g/L。
5.根据权利要求3所述的缓蚀组合物，其特征在于，pH调节剂为氢氧化钠或氢氧化钾，pH缓冲剂为硼酸或硼酸盐。
6.根据权利要求1或2所述的缓蚀组合物，其特征在于，所述缓蚀组合物中还含有聚乙二醇1000。
7.根据权利要求6所述的缓蚀组合物，其特征在于，聚乙二醇1000的含量为0.01-1g/L。
8.权利要求1所述的用于铜表面的缓蚀组合物的制备方法，包括将2-氨基吡啶、多聚磷酸和8-羟基-7-碘-5-磺基喹啉溶解于水，即可得到所述缓蚀组合物。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，还包括加入抗坏血酸、pH调节剂和pH缓冲剂并溶解均匀的步骤。
10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，还包括加入聚乙二醇1000并溶解均匀的步骤。
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