[发明专利]瑕疵检测系统及方法

权利要求书

1.一种瑕疵检测方法，用以检测晶硅产品，包括以下步骤：

(1)令该晶硅产品产生微振动以发出激发信号；

(2)撷取该该晶硅产品所发出的激发信号；以及

(3)通过特定的分析法对所撷取的该激发信号进行时频分析，以得到分析结果。

2.如权利要求1所述的瑕疵检测方法，包括步骤(4)，是依据该分析结果检测该晶硅产品的瑕疵状态。

3.如权利要求1所述的瑕疵检测方法，其中，步骤(1)是令该晶硅产品在预定的时间内产生一次以上不同方向的微振动，以使该晶硅产品在该预定的时间内产生激发信号。

4.如权利要求1所述的瑕疵检测方法，其中，步骤(2)包括记录所撷取的该激发信号的步骤。

5.如权利要求1所述的瑕疵检测方法，其中，步骤(3)通过短时傅立叶转换法、连续小波转换法或希尔伯特-黄转换对所撷取的该激发信号进行时域及频域的综合性分析，以得到该激发信号的时间、频率与能量的变化结果。

6.如权利要求2所述的瑕疵检测方法，其中，步骤(3)通过短时傅立叶转换法、连续小波转换法或希尔伯特-黄转换对所撷取的该激发信号进行时域及频域的综合性分析，以得到该激发信号的时间、频率与能量的变化结果；而步骤(4)是依据该激发信号的时间、频率与能量的变化结果中是否出现脉冲突波，而判断该晶硅产品的瑕疵大小、瑕疵位置、瑕疵数量及/或瑕疵走向。

7.如权利要求6所述的瑕疵检测方法，其中，步骤(4)是特征化该激发信号的时间、频率与能量的变化结果，并通过人工智能算法分析该变化结果以检测出该晶硅产品的瑕疵状态。

8.如权利要求7所述的瑕疵检测方法，其中，特征化该激发信号的时间、频率与能量的变化结果的步骤，是指网格化该激发信号的时间、频率与能量的变化结果。

9.如权利要求2所述的瑕疵检测方法，包括步骤(5)，是利用特定装置显示该瑕疵状态。

10.一种瑕疵检测系统，用以检测晶硅产品，包括：

固定装置，用以固定该晶硅产品；

微振动激发装置，使该经固定的晶硅产品产生微振动，进而使该晶硅产品产生激发信号；

撷取装置，用以撷取该激发信号；以及

分析检测装置，用以通过特定的分析法对所撷取的该激发信号进行时频分析以产生分析结果。

11.如权利要求10所述的瑕疵检测系统，包括隔离装置，用以隔离该固定装置、该微振动激发装置以及该撷取装置，以使该撷取装置在无干扰或低干扰的环境中撷取该激发信号。

12.如权利要求10所述的瑕疵检测系统，包括显示装置，用以显示该晶硅产品的瑕疵状态。

13.如权利要求10所述的瑕疵检测系统，包括用以对该固定装置进行方向变换的转向装置，其中，该微振动激发装置通过该转换装置在预定的时间内令该经固定的晶硅产品产生一次以上不同方向的微振动，进而发出激发信号。

14.如权利要求10所述的瑕疵检测系统，包括用以对该微振动激发装置进行方向变换的转向装置，其中，该微振动激发装置通过该转换装置在预定的时间内令该经固定的晶硅产品产生一次以上不同方向的微振动，进而发出激发信号。

15.如权利要求10所述的瑕疵检测系统，其中，该分析检测装置包含记录模块，用以记录该撷取装置所撷取的该激发信号及/或该分析检测装置所产生的分析结果。

16.如权利要求10所述的瑕疵检测系统，其中，该分析检测装置通过短时傅立叶转换法、连续小波转换法或希尔伯特-黄转换法对该撷取装置所撷取的该激发信号进行时域及频域的综合性分析，以得到该激发信号的时间、频率与能量的变化结果。

17.如权利要求16所述的瑕疵检测系统，其中，该分析检测装置通过网格化的方式特征化该激发信号的时间、频率与能量的变化结果，以通过人工智能算法分析该变化结果以检测出该晶硅产品的瑕疵状态。

18.如权利要求10所述的瑕疵检测系统，其中，该固定装置包含夹置件及/或吸附件，以通过该夹置件及/或吸附件固定该晶硅产品。