[发明专利]从硅烷蒸馏釜液中回收硅烷的方法有效
| 申请号： | 201010240611.5 | 申请日： | 2010-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN101905887A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 梁正;周晓燕;张丽云 | 申请（专利权）人： | 化学工业第二设计院宁波工程有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙) 33226 | 代理人： | 程晓明 |
| 地址： | 浙江省宁波市国家*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅烷 蒸馏釜 回收 方法 | ||
1.从硅烷蒸馏釜液中回收硅烷的方法，其特征在于包括以下步骤：
(1)将脱重组分塔中的主要由硅烷和乙硅烷组成的硅烷蒸馏釜液通过减压阀，将压力由0.5～5.0MPaG降为0.05～0.6MpaG，温度由0.5～5.0MPaG压力下的泡点温度降为0.05～0.6MpaG压力下的泡点温度；
(2)将进料阀和蒸气出口阀打开，将步骤(1)得到的降压降温后的的硅烷蒸馏釜液连续送入第一蒸发罐；
(3)在第一蒸发罐的夹套中充入-50～10℃的有机化合物传热介质，将步骤(2)中送入第一蒸发罐的硅烷蒸馏釜液中的硅烷加热蒸发，由蒸气出口阀门逸出第一蒸发罐，进入硅烷净化系统，当第一蒸发罐中的残留釜液的硅烷含量降到10～65％wt时，依次关闭进料阀门和蒸气出口阀；
(4)将残留釜液阀门打开，第一蒸发罐中的残留釜液被压送到第二蒸发罐，所述的第一蒸发罐中的残留釜液液位降至不使第一蒸发罐排净的程度；
(5)在第二蒸发罐的夹套中充入10～50℃的有机化合物传热介质，将第二蒸发罐中的残留釜液加热蒸发，通过第二蒸发罐的出气口进入尾气处理系统。
2.根据权利要求1所述的从硅烷蒸馏釜液中回收硅烷的方法，其特征在于：所述的有机化合物传热介质为庚烷。
3.根据权利要求1所述的从硅烷蒸馏釜液中回收硅烷的方法，其特征在于：步骤
(1)中所述的硅烷蒸馏釜液0.5～5.0MPaG压力下的泡点温度为-4～-40℃，所述的硅烷蒸馏釜液0.05～0.6MPaG压力下的泡点温度为-60～-90℃。
4.根据权利要求1所述的从硅烷蒸馏釜液中回收硅烷的方法，其特征在于：步骤
(3)中所述的当第一蒸发罐中的残留釜液的硅烷含量降到10～65％wt时，所述的残留釜液温度为-35～-77℃。
5.根据权利要求1所述的从硅烷蒸馏釜液中回收硅烷的方法，其特征在于：步骤
(4)中所述的第一蒸发罐中的残留釜液液位降至不使第一蒸发罐排净的程度为所述的第一蒸发罐中的残留釜液液位降至50-200mm。
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