[发明专利]真空保护阀

权利要求书

1.一种真空保护阀，其特征在于，包括：

上阀体；

下阀体，与所述上阀体套合；

调节螺栓，与所述下阀体连接；

阀芯，置于所述下阀体中，并与所述调节螺栓套合；

活动阀座，置于所述下阀体中，并与所述阀芯抵接；

传动杆，置于所述上阀体和所述活动阀座中，并与所述阀芯抵接；

感压腔，连接于所述上阀体，并与所述传动杆抵接。

2.根据权利要求1所述的真空保护阀，其特征在于，所述上阀体，包括：

真空出口；

同心通孔，贯穿于所述上阀体，与所述真空出口连通，并与所述传动杆间隙配合；

偏心沉孔，与所述真空出口连通；

限位凸台，设置于所述上阀体底部；

过滤器，设置于所述真空出口中。

3.根据权利要求1所述的真空保护阀，其特征在于，所述下阀体与所述上阀体连接处设置有阀体密封圈。

4.根据权利要求1所述的真空保护阀，其特征在于，所述下阀体，包括：

真空进口，设置于所述下阀体一侧；

密封凸台，以承托所述活动阀座，下阀体壁与所述活动阀座间隙配合。

5.根据权利要求1所述的真空保护阀，其特征在于，所述调节螺栓与所述下阀体连接处设置有调节螺栓密封圈。

6.根据权利要求1所述的真空保护阀，其特征在于，所述阀芯，包括：

球座；

钢球，设置于所述球座上。

7.根据权利要求6所述的阀芯，其特征在于，所述钢球直径为5～12mm。

8.根据权利要求1所述的真空保护阀，其特征在于，还包括阀芯弹簧，其两端分别连接于所述阀芯与所述调节螺栓。

9.根据权利要求1所述的真空保护阀，其特征在于，所述活动阀座，包括：

座体；

高压流道，设置于所述座体的边缘；

节流孔，设置于所述座体上；

真空流道，设置于所述座体中心；

锥孔，设置于所述真空流道下部；

限位槽，环绕设置于所述座体面上。

10.根据权利要求9所述的活动阀座，其特征在于，所述节流孔直径为0.2～1mm。

11.根据权利要求9所述的活动阀座，其特征在于，所述活动阀座的直径大于所述密封凸台的直径。

12.根据权利要求1所述的真空保护阀，其特征在于，还包括阀座弹簧，其两端分别连接所述上阀体和所述活动阀座。

13.根据权利要求1所述的真空保护阀，其特征在于，所述传动杆，为上粗下细的阶梯轴结构。

14.根据权利要求13所述的传动杆，其特征在于，所述传动杆的上部直径为2～5mm，下部直径为1～3mm。

15.根据权利要求1所述的真空保护阀，其特征在于，所述感压腔，包括：

上盖板，具有多个小孔；

下盖板，盖合于所述上盖板，形成一腔体；

金属膜片，设置于所述上盖板与下盖板之间，将所述腔体分为上下两个空腔；

膜片垫片，设置于所述金属膜片下；

连接螺柱，设置于所述下盖板底部，用于与所述上阀体连接；

滤网，设置于所述上盖板上。

16.根据权利要求15所述的感压腔，其特征在于，所述上下两个空腔的高度为2～10mm。

17.根据权利要求15所述的感压腔，其特征在于，所述连接螺柱与所述上阀体连接处设置有感压腔密封圈。