[发明专利]一种注入机用晶片缺口定位装置有效

专利信息
申请号: 201010243033.0 申请日: 2010-08-02
公开(公告)号: CN102347224A 公开(公告)日: 2012-02-08
发明(设计)人: 伍三忠;唐景庭;孙勇;袁卫华 申请(专利权)人: 北京中科信电子装备有限公司
主分类号: H01L21/265 分类号: H01L21/265;H01J37/317
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 101111 北京市中关村科*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 注入 晶片 缺口 定位 装置
【权利要求书】:

1.一晶片缺口定位装置,由一个缺口标准晶片,一个旋转托盘,一根旋转轴,一个红外光的LED发光光源组件,一个检测红外光光强的传感器,一个遮光罩,一个安装支撑座一个定位驱动皮带和两个驱动轮,一个带高精度编码的直流伺服电机组成。其中所述的晶片标准缺口的是符合国际SEMI标准规定。

2.如权利要求1所述的一个红外光的LED发光光源组件采用的是平铺式的阵列,既一个板上装有两排红外发射LED灯。由于LED二极管灯具有一定角度发散角,板上只留小片区域出射光束,余下地方涂上反射红外的涂料,出射光束是均匀光幕。

3.如权利要求1所述的检测红外光光强的传感器是市场采购的高精度的传感器,其核心是高分辨率的一个红外接收管(光敏二极管)安装在供电PCB板上。红外发射LED灯产生的红外光会通过传感器感应接收,如果传感器和LED二极管有晶片,则其接收光强会减弱,晶片标准缺口转过光幕区域时,光强就又瞬间增强,形成定位机制。

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