[发明专利]电主轴的过热保护装置、过热保护方法及切割机

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路封装设备制造领域，特别是涉及一种电主轴的过热保护装置、过热保护方法及切割机。

背景技术

切割机是半导体后封装关键设备，其作用是将晶圆分割成单个的电路单元。切割机的工作机理是强力磨削，电主轴是强力磨削的执行部件。电主轴是将电机的定子、转子直接装入主轴组件的内部，有时也称作直接驱动主轴(Direct Drive Spindle)，是内装式电机主轴。

为了保证晶圆切割质量，要求电主轴具备高转速、高精度及高稳定性，通常采用空气静压电主轴。

电主轴如空气静压电主轴高速运转时，电主轴温升引起的热变形是影响电主轴精度的重要因素之一，为减小电主轴温升，通常是在主轴内设置有冷却液通道，通过接入冷却液进行冷却，而对冷却液流量的监测和电主轴温升监测考虑的少。本发明的发明人在实现本发明的过程中发现，现有技术的切割机电主轴过热保护方法及装置对电主轴温升的考虑不够，而当电主轴温升超过正常温度时，如系统不使电主轴停止运行，则将影响电主轴工作的精度甚至烧坏电主轴电机。

发明内容

本发明的实施例提供一种电主轴的过热保护装置、过热保护方法及切割机，以解决现有技术未充分考虑切割机电主轴过热保护的技术问题。

为了实现上述目的，本发明提供一种电主轴的过热保护装置，其中，包括：

温度监测模块，用于监测电主轴的温度，并输出第一信号；

冷却液流量监测模块，用于监测冷却液的流量，并输出第二信号，所述冷却液用于冷却所述电主轴；

控制模块，用于当所述第一信号表明所述电主轴的温度高于预定的第一阈值和/或所述第二信号表明所述冷却液的流量低于预定的第二阈值时，控制所述电主轴停止运行或按预定的方式运行。

优选地，所述的过热保护装置，其中，所述温度监测模块包括：

温度传感器，用于检测所述电主轴的温度，并根据所述检测出的温度输出对应的第三信号；

第一滤波电路模块，用于对所述第三信号进行滤波；

第一放大电路模块，用于对所述第一滤波电路模块输出的信号进行放大；

第一比较电路模块，用于比较所述第一放大电路模块输出的信号与预定的第三阈值，当所述第一放大电路模块输出的信号的值大于所述第三阈值时，输出所述第一信号。

优选地，所述的过热保护装置，其中，所述冷却液流量监测模块包括：

流量传感器，用于检测所述冷却液的流量，并根据所述检测出的冷却液流量输出对应的第四信号；

第二滤波电路模块，用于对所述第四信号进行滤波；

第二放大电路模块，用于对所述第二滤波电路模块输出的信号进行放大；

第二比较电路模块，用于比较所述第二放大电路模块与预定的第四阈值，当所述第二放大电路模块输出的信号的值小于所述第四阈值时，输出所述第二信号。

优选地，所述的过热保护装置，其中，所述控制模块包括：

处理模块，用于当所述电主轴的温度高于预定的第一阈值和/或所述冷却液的流量低于预定的第二阈值时，发出第一控制信号；

电主轴驱动模块，用于根据所述第一控制信号，控制所述电主轴停止运行或按预定的方式运行。

优选地，所述的过热保护装置，其中，所述控制模块还包括报警模块，

所述处理模块进一步用于在所述电主轴的温度高于预定的第一阈值和/或所述冷却液的流量低于预定的第二阈值时，发出第二控制信号；

所述报警模块根据所述第二控制信号发出报警信息。

优选地，所述的过热保护装置，其中，所述温度传感器与内置于所述电主轴的电机定子相接触。

另一方面，提供一种电主轴的过热保护方法，其中，包括：

监测电主轴的温度；

监测冷却液的流量，所述冷却液用于冷却所述电主轴；

当所述电主轴的温度高于预定的第一阈值和/或所述冷却液的流量低于预定的第二阈值时，控制所述电主轴停止运行或按预定的方式运行。

优选地，所述的过热保护方法，其中，所述监测电主轴的温度的步骤包括：

温度传感器根据检测出的电主轴的温度，输出第三信号；

第一滤波电路模块对所述温度传感器输出的第三信号进行滤波；

第一放大电路模块对所述第一滤波电路模块输出的信号进行放大；

第一比较电路模块比较所述第一放大电路模块输出的信号与预定的第三阈值，当所述第一放大电路模块输出的信号的值大于所述第三阈值时，确定出所述电主轴的温度高于所述第一阈值。