[发明专利]压电振动器、电压振动器的制造方法、振荡器、电子设备及电波钟无效
| 申请号： | 201010244271.3 | 申请日： | 2010-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN101964638A | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 福田纯也 | 申请（专利权）人： | 精工电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/19;G04C9/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 何欣亭;徐予红 |
| 地址： | 日本千叶*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 振动器 电压 制造 方法 振荡器 电子设备 电波 | ||
1.一种压电振动器，其特征在于包括：
基底基板及盖基板，以在该基底基板与盖基板之间形成空腔的方式叠合；
压电振动片，收容于所述空腔内并与所述基底基板一侧接合；
吸气材料，以收容于所述空腔内的方式形成在所述基底基板；以及
接合膜，形成在所述盖基板中朝向所述基底基板一侧的整个面，并在与所述基底基板接触的部分接合两基板，
所述接合膜用通过照射激光来激活而可吸附周围气体的材料形成。
2.如权利要求1所述的压电振动器，其特征在于：在所述吸气材料及所述接合膜分别形成有同时被照射激光的第一激光照射疵痕。
3.如权利要求2所述的压电振动器，其特征在于：在所述空腔内的接合膜中，从所述基底基板的法线方向来看不与所述吸气材料重叠的位置，形成有第二激光照射疵痕。
4.如权利要求1至3中任一项所述的压电振动器，其特征在于：所述吸气材料和所述接合膜用彼此不同的材料形成。
5.一种压电振动器的制造方法，其特征在于，所述压电振动器包括：
基底基板及盖基板，以在该基底基板与盖基板之间形成空腔的方式叠合；
压电振动片，收容于所述空腔内并与所述基底基板一侧接合；
吸气材料，以收容于所述空腔内的方式形成在所述基底基板；以及
接合膜，形成在所述盖基板中朝向所述基底基板一侧的整个面，并在与所述基底基板接触的部分接合两基板，
所述接合膜用通过照射激光来激活而可吸附周围气体的材料形成，
所述压电振动器的制造方法具备对所述吸气材料及所述接合膜同时照射激光的第一吸气工序。
6.如权利要求5所述的压电振动器的制造方法，其特征在于：具备对从所述基底基板的法线方向来看所述空腔内的接合膜中不与所述吸气材料重叠的位置照射激光的第二吸气工序。
7.一种振荡器，其特征在于：将权利要求1至4中任一项所述的压电振动器作为振子电连接至集成电路。
8.一种电子设备，其特征在于：使权利要求1至4中任一项所述的压电振动器与计时部电连接。
9.一种电波钟，其特征在于：使权利要求1至4中任一项所述的压电振动器与滤波部电连接。
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