[发明专利]一种高压发生器校准方法有效
| 申请号： | 201010244345.3 | 申请日： | 2010-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN101965093A | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 陈小强 | 申请（专利权）人： | 深圳市蓝韵实业有限公司 |
| 主分类号： | H05G1/10 | 分类号： | H05G1/10;H05G1/20;H02M7/537 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518034 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高压发生器 校准 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种高压发生器校准方法，其特征在于，包括步骤：
A1、测量高压发生器反馈分压电阻的实际阻值及串联电阻的实际阻值；
A2、计算反馈误差；
A3、根据所述反馈误差和高压发生器放大参考值对高压发生器曝光过程进行控制。
2.根据权利要求1所述的高压发生器校准方法，其特征在于，所述步骤A1包括步骤：
B1、测量高压发生器反馈分压电阻的实际阻值及串联电阻的实际阻值；
B2、存储所述反馈分压电阻实际阻值与所述串联电阻实际阻值的比值K′FD。
3.根据权利要求2所述的高压发生器校准方法，其特征在于，所述步骤A2包括步骤：
B3、计算高压发生器反馈分压电阻的理论阻值及串联电阻的理论阻值；
B4、存储所述反馈分压电阻理论阻值与所述串联电阻理论阻值的比值KFD；。
B5、计算K′FD与KFD的差值，存储所述差值乘上一个固定常数的积ΔKset；
B6、计算KFD与所述固定常数的积Kset。
4.根据权利要求3所述的高压发生器校准方法，其特征在于：将Kset与ΔKset的和经数模转换后输出到高压发生器的脉宽调制控制器。
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