[发明专利]一种复合型波带片光子筛有效

专利信息
申请号: 201010247543.5 申请日: 2010-08-06
公开(公告)号: CN102375169A 公开(公告)日: 2012-03-14
发明(设计)人: 谢常青;潘一鸣;朱效立;贾佳;刘明 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G02B5/18 分类号: G02B5/18
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周国城
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 复合型 波带片 光子
【权利要求书】:

1.一种复合型波带片光子筛,其特征在于,包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜,所述不透光的金属薄膜上分布有一系列透光环带和若干透光小孔。

2.如权利要求1所述的复合型波带片光子筛,其特征在于,所述透光衬底采用透光材料制作而成,该透光材料为熔融石英、普通玻璃或有机玻璃。

3.如权利要求1所述的复合型波带片光子筛,其特征在于,所述不透光的金属薄膜采用铬、金、铝或铜制作而成,所述不透光的金属薄膜的厚度大于80nm。

4.如权利要求1所述的复合型波带片光子筛,其特征在于,所述一系列透光环带为平面式环带,每一透光环带的中心半径为rn,宽度为wn,其中rn2=2nfλ+n2λ2,wn=λ/2rn,其中λ为波长,f为焦距。

5.如权利要求1所述的复合型波带片光子筛,其特征在于,所述若干透光小孔为随机分布的若干平面式透光小孔,其分布在中心半径为rn,宽度为wn的环带上,所述平面式透光小孔之间不重叠;所述平面式透光小孔的圆心分布在环带中心半径rn上,其中rn2=2nfλ+n2λ2,对应rn上的平面式透光小孔的直径为:dm=wm=λ/2rm,其中λ为波长,f为焦距。

6.如权利要求4或5所述的复合型波带片光子筛,其特征在于,该复合型波带片光子筛由若干环位置随机分布的透光小孔组成,并且在其内部2/3部分嵌入一系列透光环带。

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