[发明专利]正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法无效

专利信息
申请号: 201010247760.4 申请日: 2010-07-30
公开(公告)号: CN102346372A 公开(公告)日: 2012-02-08
发明(设计)人: 施俊安;陈凯民 申请(专利权)人: 奇美实业股份有限公司
主分类号: G03F7/008 分类号: G03F7/008;G03F7/039;G03F7/00;G02F1/1368
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 王敏杰
地址: 中国台湾台南*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 感光性 树脂 组成 使用 形成 图案 方法
【权利要求书】:

1.一种流延涂布方式用正型感光性树脂组成物,包含:

酚醛清漆树脂(A);

邻萘醌二迭氮磺酸类的酯化物(B);以及

溶剂(C);

其中,该酚醛清漆树脂(A)以凝胶渗透色层分析法测得的分子量分布,将分子量介于200~120,000的树脂讯号作积分,以分子量及累积重量百分率绘图求得积分分子量分布曲线,该酚醛清漆树脂(A)中,分子量介于1,000~3,000的酚醛清漆树脂占该酚醛清漆树脂(A)5~45%,分子量30,000以上的酚醛清漆树脂占该酚醛清漆树脂(A)10%以下。

2.一种使用权利要求1所述正型感光性树脂组成物形成图案的方法,其是将该正型感光性树脂组成物依序施予预烤、曝光、显影及后烤处理,据此形成图案。

3.一种薄膜电晶体阵列基板,包含一图案,其中,该图案是执行如权利要求2所述的方法所形成的。

4.一种液晶显示组件,包含如权利要求3所述的薄膜电晶体阵列基板。

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