[发明专利]正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法无效
申请号: | 201010247760.4 | 申请日: | 2010-07-30 |
公开(公告)号: | CN102346372A | 公开(公告)日: | 2012-02-08 |
发明(设计)人: | 施俊安;陈凯民 | 申请(专利权)人: | 奇美实业股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/008 | 分类号: | G03F7/008;G03F7/039;G03F7/00;G02F1/1368 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 王敏杰 |
地址: | 中国台湾台南*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组成 使用 形成 图案 方法 | ||
1.一种流延涂布方式用正型感光性树脂组成物,包含:
酚醛清漆树脂(A);
邻萘醌二迭氮磺酸类的酯化物(B);以及
溶剂(C);
其中,该酚醛清漆树脂(A)以凝胶渗透色层分析法测得的分子量分布,将分子量介于200~120,000的树脂讯号作积分,以分子量及累积重量百分率绘图求得积分分子量分布曲线,该酚醛清漆树脂(A)中,分子量介于1,000~3,000的酚醛清漆树脂占该酚醛清漆树脂(A)5~45%,分子量30,000以上的酚醛清漆树脂占该酚醛清漆树脂(A)10%以下。
2.一种使用权利要求1所述正型感光性树脂组成物形成图案的方法,其是将该正型感光性树脂组成物依序施予预烤、曝光、显影及后烤处理,据此形成图案。
3.一种薄膜电晶体阵列基板,包含一图案,其中,该图案是执行如权利要求2所述的方法所形成的。
4.一种液晶显示组件,包含如权利要求3所述的薄膜电晶体阵列基板。
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