[发明专利]电子组件及其制法、螺旋电感组件及其制法

说明书

技术领域

本发明关于一种电子组件，且特别是关于一种具有开口(opening)的电子组件。

背景技术

许多数字与模拟组件已成功地应用于半导体集成电路(integrated circuits，ICs)。上述组件包括了无源组件，例如电阻、电容或电感等。典型的集成电路包括一基底，一层以上的介电层(或绝缘层)形成在基底上，以及一层以上的金属层形成在介电层中与介电层上，这些金属层可借由现行的半导体制程技术而形成芯片内建组件，例如芯片内建电感(on-chip inductor)。

传统的螺旋电感组件形成在基底上方的绝缘层中，其中电感借由导电插塞(conductive plug)、导电层与信号输入/输出端口与外部的电路电性连接。平面型螺旋电感的优点在于，可借由减少外部电路组件数量与其所需的复杂内联机构，而增加电路的集成度。

在螺旋电感中，用以评估电感的参数为品质因数(quality factor/Q value)，目前已知有三个因素会影响电感的品质因数，主要为集肤效应(skin effect)、基板的涡电流(substrate eddy current)与线圈的涡电流(coil eddy current)。

为了改善集肤效应的损失(loss)，可以加宽或加厚螺旋导线。为了改善基板涡电流的损失，可以在螺旋导线与基底之间设置一接地的金属屏蔽层(metal shielding layer)。然而，目前没有任何方法可以改善线圈的涡电流损失。

由于电感组件的效能取决于品质因数，因此，业界需要发展一种电感组件，以改善线圈的涡电流损失。

发明内容

本发明提供一种电子组件，包括：一基底；以及一导线图案(conductivetrace pattern)，形成在该基底上，其中该导线图案具有一开口(opening)，且该基底暴露在该开口中。

本发明另提供一种螺旋电感组件，包括：一基底；以及一螺旋导线图案，其为多匝式，形成在该基底上，其中该螺旋导线图案具有一开口(opening)，且该基底暴露在该开口中。

本发明还包括一种电子组件的制法，包括以下步骤：提供一基底；以及形成一导线图案在该基底上，其中该导线图案具有一开口(opening)，以使该基底暴露在该开口中。

本发明又包括一种螺旋电感组件的制法，包括以下步骤：提供一基底；以及形成一螺旋导线图案在该基底上，其中该螺旋导线图案为多匝式且具有一开口(opening)，以使该基底暴露在该开口中。

为让本发明的上述和其它目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举出优选实施例，并配合附图，作详细说明如下：

附图说明

图1A为一俯视图，用以说明本发明一实施例的电子组件。

图1B～图1C为一系列剖面图，用以说明本发明一实施例的电子组件。

图1D为一俯视图，用以说明本发明另一实施例的电子组件。

图2A为一俯视图，用以说明本发明一实施例的螺旋电感组件。

图2B为一剖面图，用以说明本发明一实施例的螺旋电感组件。

图2C为一俯视图，用以说明本发明另一实施例的螺旋电感组件。

主要组件符号说明

10～基底

20～导线图案

20a～第一端点

20b～第二端点

21～第一部分

22～第二部分

30～开口(opening)

Lo～开口的长度

Lc～导线的长度

D～开口的深度

d～导线图案的厚度

WA～第一部分的宽度

WB～第二部分的宽度

100～基底

200～螺旋导线图案

200a～内匝端点

200b～外匝端点

300～开口(opening)

P～螺旋导线图案的相邻匝的间距值

S～开口的宽度值

Wm～螺旋导线图案的宽度值

W1a、W1b～第一部分的宽度

W2a、W2b～第二部分的宽度

具体实施方式

请参见图1A-图1C，其显示本发明实施例的电子组件，其中图1A显示电子组件的俯视图，图1B显示沿图1A1B-1B’线的剖面图，图1C显示沿着图1A1C-1C’线的剖面图。