[发明专利]设备的误差辨识方法和误差辨识程序

权利要求书

1.一种设备的误差辨识方法，该设备的误差辨识方法为通过控制装置对具有两根以上的平移轴和一根以上的旋转轴的设备的与所述平移轴和所述旋转轴相关的几何学误差进行辨识的方法，其特征在于，

该设备的误差辨识方法包括：

检测步骤，将所述旋转轴分度为多个角度并将被测定件定位于多个部位，通过位置检测传感器检测所述被测定件在三维空间上的位置；

圆弧近似步骤，将在所述检测步骤中所检测到的多个位置检测值进行圆弧近似；以及

误差计算步骤，根据在所述圆弧近似步骤中近似得到的圆弧计算所述旋转轴的中心位置误差和/或所述旋转轴的倾斜误差、以及所述平移轴的倾斜误差。

2.根据权利要求1所述的设备的误差辨识方法，其特征在于，

在所述圆弧近似步骤中，近似为以所述位置检测值与所述旋转轴的旋转中心之间的距离为半径的圆弧，

在所述误差计算步骤中，根据近似得到的圆弧的二次分量计算所述平移轴的倾斜误差。

3.根据权利要求1所述的设备的误差辨识方法，其特征在于，

在所述圆弧近似步骤中，近似为以所述位置检测值与所述旋转轴的旋转中心之间的距离为半径的圆弧，

在所述误差计算步骤中，根据近似得到的圆弧的一次分量计算与所述旋转轴相关的几何学误差。

4.根据权利要求2所述的设备的误差辨识方法，其特征在于，

在所述圆弧近似步骤中，近似为以所述位置检测值与所述旋转轴的旋转中心之间的距离为半径的圆弧，

在所述误差计算步骤中，根据近似得到的圆弧的一次分量计算与所述旋转轴相关的几何学误差。

5.根据权利要求1所述的设备的误差辨识方法，其特征在于，

所述设备具有两根以上所述旋转轴，

在所述检测步骤中，将除了被分度为多个角度的所述旋转轴以外的所述旋转轴分度为两个以上的角度并进行检测。

6.根据权利要求2所述的设备的误差辨识方法，其特征在于，

所述设备具有两根以上所述旋转轴，

在所述检测步骤中，将除了被分度为多个角度的所述旋转轴以外的所述旋转轴分度为两个以上的角度并进行检测。

7.根据权利要求1所述的设备的误差辨识方法，其特征在于，

在所述圆弧近似步骤中，将所述位置检测值的与所述旋转轴平行的轴向分量近似为圆弧，

在所述误差计算步骤中，根据近似得到的圆弧的一次分量计算所述旋转轴的倾斜误差。

8.根据权利要求2所述的设备的误差辨识方法，其特征在于，

在所述圆弧近似步骤中，将所述位置检测值的与所述旋转轴平行的轴向分量近似为圆弧，

在所述误差计算步骤中，根据近似得到的圆弧的一次分量计算所述旋转轴的倾斜误差。

9.一种设备的误差辨识程序，该设备的误差辨识程序用于在计算机中执行权利要求1所述的设备的误差辨识方法。

10.一种设备的误差辨识程序，该设备的误差辨识程序用于在计算机中执行权利要求2所述的设备的误差辨识方法。