[发明专利]制备金刚石膜的张丝结构无效
申请号: | 201010252476.6 | 申请日: | 2010-08-13 |
公开(公告)号: | CN102140626A | 公开(公告)日: | 2011-08-03 |
发明(设计)人: | 玄真武;侯立;秦松岩;雷亚民;王亨瑞 | 申请(专利权)人: | 北京天地东方超硬材料股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27;C23C16/44 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 100018*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制备 金刚石 结构 | ||
1.一种制备金刚石膜的张丝结构,包括分别设置在底座上的左、右两块绝缘板和用钼条制成的左、右两个电极,在两绝缘板之间设有热丝装置,其特征是,所述热丝装置包括一组按之字形多重转折排列的热丝,热丝的左侧或右侧各转折处分别对应钩挂连接在与左或右绝缘板连接的具有弹性的左或右两组挂钩上,所述挂钩上设有导向作用的限位结构;热丝的所有转折处各利用一个钩状电极与所述钼条制成的左或右两个电极之一实现电连接。
2.根据权利要求1所述的制备金刚石膜的张丝结构,其特征是,所述热丝由一整根热丝按之字型转折构成,构成之字的各段热丝之间具有电并联连接关系。
3.根据权利要求1所述的所述的制备金刚石膜的张丝结构,其特征是,所述热丝用若干段单独的小段热丝分别钩挂在所述挂钩上构成之字型结构,构成之字的各小段热丝之间按电并联关系连接。
4.根据权利要求1或2或3所述的制备金刚石膜的张丝结构,其特征是,所述具有弹性的左、右两组挂钩,每一组均包括若干个钼制长钩,各个钼制长钩前端设有钩,热丝的转折点挂在钩上,钼制长钩的后端与钨丝弹簧的一端连接,钨丝弹簧的另一端与所述绝缘板的挂孔连接。
5.根据权利要求4所述的制备金刚石膜的张丝结构,其特征是,所述钨丝弹簧为用钨丝按圆柱螺旋弹簧的结构制成的拉伸弹簧。
6.根据权利要求5所述的制备金刚石膜的张丝结构,其特征是,所述左、右绝缘板由云母片制成,云母片上排列设有一组挂孔,所有挂孔的孔间距离相等,且左绝缘板的挂孔中心位置与右绝缘板的挂孔中心位置相对应错开半个孔间距离,所述钨丝弹簧的一端钩挂在挂孔中。
7.根据权利要求6所述的制备金刚石膜的张丝结构,其特征是,所述钩状电极的前端与钼制长钩的前端连接,钩状电极的后端利用锁紧螺钉与钼条制成的电极连接;所述钼条制成的电极与绝缘板平行设置,并用与钼条制成的电极和绝缘板正交的两片平行的钼片连接固定;在两片钼片上跨接连接有定位绝缘板。
8.根据权利要求7所述的制备金刚石膜的张丝结构,其特征是,所述挂钩上设有的限位结构由钼制限位片构成,钼制限位片的后端固定连接在所述定位绝缘板上,钼制限位片利用其前端设有的限位孔与钼制长钩的中间部位实现滑动配合。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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