[发明专利]压印光刻设备和方法

权利要求书

1.一种压印光刻方法，用于通过使用具有包括凹陷的图案化表面的压印模具在衬底上由紫外线可固化的可压印液体介质形成图案化层，所述方法包括步骤：

将所述图案化表面与作为未固化的可流动的液体的紫外线可固化的可压印液体介质放在一起并持续一填充时间段，所述填充时间段具有所述图案化表面开始接触所述紫外线可固化的可压印液体介质的开始时刻和所述紫外线可固化的可压印液体介质基本上填充在所述图案化表面中的所述凹陷内的结束时刻；

用紫外辐射照射所述紫外线可固化的可压印液体介质并持续一照射时间段，所述照射时间段具有开始时刻和结束时刻；

将所述图案化表面和所述紫外线可固化的可压印液体介质保持在一起并持续一具有开始时刻和结束时刻的保持时间段，所述保持时间段的所述开始时刻在所述填充时间段的所述结束时刻处开始，并且所述保持时间段的所述结束时刻被选定成提供所述紫外线可固化的可压印液体介质的充分固化、以形成自支撑图案化层；和

在所述保持时间段的所述结束时刻将所述图案化表面和所述图案化层分开，

其中所述照射时间段的所述开始时刻比所述填充时间段的所述结束时刻早一预固化时间段。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述紫外线可固化的可压印液体介质存在跟随所述照射时间段的所述开始时刻之后的禁止时间段，在所述禁止时间段期间所述紫外线可固化的可压印液体介质的粘度保持基本不变，并且其中所述预固化时间段比所述禁止时间段短。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述照射时间段的所述开始时刻比所述填充时间段的所述开始时刻早。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述保持时间段的所述结束时刻被选定成在将所述图案化表面和所述图案化层分开之前提供基本上固态的自支撑图案化层。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述照射时间段的所述结束时刻比所述保持时间段的所述结束时刻早。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述紫外线可固化的可压印液体介质是丙烯酸盐抗蚀剂或乙烯醚抗蚀剂。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述紫外线可固化的可压印液体介质是通过紫外照射开始固化并在紫外照射结束后继续固化的介质。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述紫外辐射具有在所述照射时间段期间改变的功率。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述功率从在所述照射时间段的所述开始时刻时的初始值逐步减小到在所述照射时间段的所述结束时刻时的最终值。

10.根据权利要求8所述的方法，其中，所述功率从在所述照射时间段的所述开始时刻时的初始值逐步增大到最大值。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，所述功率从所述初始值逐步增大到所述最大值，然后从所述最大值逐步减小到在所述照射时间段的所述结束时刻时的最终值。

12.一种压印光刻方法，用于通过使用具有包括凹陷的图案化表面的压印模具在衬底上由紫外线可固化的可压印液体介质形成图案化层，所述方法包括步骤：

将所述图案化表面与作为未固化的可流动的液体的紫外线可固化的可压印液体介质放在一起并持续一填充时间段，所述填充时间段具有所述图案化表面开始接触所述紫外线可固化的可压印液体介质的开始时刻和所述紫外线可固化的可压印液体介质基本上填充在所述图案化表面中的所述凹陷内的结束时刻；

用紫外辐射照射所述紫外线可固化的可压印液体介质并持续一照射时间段，所述照射时间段具有开始时刻和结束时刻；

将所述图案化表面和所述紫外线可固化的可压印液体介质保持在一起并持续一具有开始时刻和结束时刻的保持时间段，所述保持时间段的所述开始时刻在所述填充时间段的所述结束时刻处开始，并且所述保持时间段的所述结束时刻被选定成提供所述紫外线可固化的可压印液体介质的充分固化、以形成自支撑图案化层；和

在所述保持时间段的所述结束时刻将所述图案化表面和所述图案化层分开，

其中所述照射时间段的所述结束时刻比所述保持时间段的所述结束时刻早。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，所述照射时间段的所述开始时刻比所述填充时间段的所述结束时刻早一预固化时间段。