[发明专利]折反射投射物镜

权利要求书

1.一种用于微光刻的折反射投射物镜(1、1101、1601、1701)，用于将物面(5、1105、1605、1705)中的物场(3、1103、1603、1703)成像到像面(9、1109、1609、1709)中的像场(7、1107、1607、1707)，包括：

第一分物镜(11、1111、1611、1711)，用于将所述物场成像到实的第一中间像(13、1113、1613、1713)上；

第二分物镜(15、1115、1615、1715)，用于将所述第一中间像成像到实的第二中间像(17、1117、1617、1717)上；以及

第三分物镜(19、1119、1619、1719)，用于将所述第二中间像成像到所述像场上，

其中所述第二分物镜是恰具有一个凹面镜(21、1121、1621、1721)且具有至少一个透镜(L21、L22、L1111、L1611、L1712)的折反射物镜，并且

其中提供第一折叠镜(23、1123、1623、1723)和第二折叠镜(25、1125、1625、1725)，所述第一折叠镜用于将来自所述物面的光线偏向所述凹面镜的方向，所述第二折叠镜用于将来自所述凹面镜的光线偏向所述像面的方向，

其特征在于：

所述第二分物镜的所述透镜(L21、L22、L1111、L1611、L1712)的至少一个表面具有对于从150nm到250nm的工作波长及从0°到30°的入射角反射率小于0.2％的抗反射涂层(337、437、537)。

2.根据权利要求1所述的折反射投射物镜，其中所述抗反射涂层(337、437、537)包括至少6层(339、341、343、345、347、349、351；439、441、443、445、447、449、451；539、541、543、545、547、549、551、553)，该6层由具有高折射率的材料和具有低折射率的材料交替构成。

3.根据权利要求2所述的折反射投射物镜，其中具有低折射率的所述材料是选自由氟化镁、氟化铝、氟化钠、氟化锂、氟化钙、氟化钡、氟化锶、冰晶石、锥冰晶石及其组合构成的组的电介质材料。

4.根据权利要求2或3所述的折反射投射物镜，其中具有高折射率的所述材料是选自由氟化钕、氟化镧、氟化钆、氟化镝、氧化铝、氟化铅、氟化钇及其组合构成的组的电介质材料。

5.根据权利要求1到4中任一项所述的折反射投射物镜，其中至少一个表面偏离边缘光线同心度小于20°，

其中如果在物面中从光轴出射且在像面中具有与最大数值孔径相对应的入射角的边缘光线在所述透镜表面处具有0°的入射角，则具有边缘光线同心度。

6.一种用于微光刻的折反射投射物镜(1101、1601、1701)，用于将物面(1105、1605、1705)中的物场(1103、1603、1703)成像到像面(1109、1609、1709)中的像场(1107、1607、1707)，其包括：

第一分物镜(1111、1611、1711)，将所述物场成像到实的第一中间像(1113、1613、1713)上；

第二分物镜(1115、1615、1715)，将所述第一中间像成像到实的第二中间像(1117、1617、1717)上；以及

第三分物镜(1119、1619、1719)，将所述第二中间像成像到所述像场上，

其中所述第二分物镜是恰具有一个凹面镜(1121、1621、1721)且具有至少一个透镜(L1111、L1611、L1712)的折反射物镜，并且

其中第一折叠镜(1123、1623、1723)和第二折叠镜(1125、1625、1725)被提供，所述第一折叠镜用于使从所述物面出射的光线偏向所述凹面镜的方向，所述第二折叠镜用于将从所述凹面镜出射的光线偏向所述像面的方向，

其特征在于：

所述第二分物镜(1115、1615、1715)的所述透镜(L1111、L1611、L1712)的所有表面被构造为偏离所述边缘光线同心度大于或等于20°，

其中如果在所述物面中从所述光轴出射且在所述像面中具有与最大数值孔径相对应的入射角的边缘光线在所述透镜表面处具有0°的入射角，则具有边缘光线同心度。

7.根据权利要求6所述的折反射投射物镜，其中所述第二分物镜恰具有一个透镜(L1111、L1611、L1712)。