[发明专利]碱溶性聚合物、包含其的感光性树脂组合物及其用途有效

专利信息
申请号: 201010254899.1 申请日: 2010-08-12
公开(公告)号: CN101993537A 公开(公告)日: 2011-03-30
发明(设计)人: 涩井智史;金田隆行;汤之口智惠 申请(专利权)人: 旭化成电子材料株式会社
主分类号: C08G73/10 分类号: C08G73/10;G03F7/039;H01L21/3105;H01L23/29
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;李茂家
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 碱溶性 聚合物 包含 感光性 树脂 组合 及其 用途
【权利要求书】:

1.一种碱溶性聚合物,其具有:

由选自由多元羧酸及其衍生物组成的组中的至少一种羧酸化合物与多元氨基化合物合成的结构,以及

具有交联基、且能与所述多元羧酸或其衍生物反应的化合物由来的含交联基结构。

2.根据权利要求1所述的碱溶性聚合物,所述含交联基结构为下述通式(1)所示的结构,

[化学式1]

式(1)中,R1及R2各自独立为选自由氢原子以及碳原子数1~5的烃基组成的组中的至少一种基团,R3为具有选自由羟基、烷氧基、链烯基、环氧基、以及氧杂环丁烷基组成的组中的至少一种基团的基团,W1为碳原子数1~30的(n1+2)价有机基团,m1为1~500的整数,且n1为1~12的整数。

3.一种碱溶性聚合物,其具有选自由下述通式(2)所示的结构、以及下述通式(4)所示的结构组成的组中的至少一种结构,

[化学式2]

式(2)中,X1、Y1以及Y2各自独立为至少具有2个碳原子的2~4价有机基团,Z1具有下述通式(3)所示的结构,R4~R6各自独立为氢原子或碳原子数1~10的烃基,m2为1~1000的整数,m3为1~500的整数,在此,m2/(m2+m3)=0.05~0.99,且n2~n7各自独立为0~2的整数,n2+n3+n4+n5+n6+n7>0,在此,包含X1及Y1的m2个单元、以及包含Z1及Y2的m3个单元的排列顺序不限,

[化学式3]

式(3)中,R1及R2各自独立为选自由氢原子以及碳原子数1~5的烃基组成的组中的至少一种基团,R3为具有选自由羟基、烷氧基、链烯基、环氧基、以及氧杂环丁烷基组成的组中的至少一种基团的基团,W2为碳原子数1~30的(n1+2)价有机基团,B为选自由-NH-、-O-以及-S-组成的组中的基团,且n1为1~12的整数;

[化学式4]

式(4)中,Y3为至少具有2个碳原子的4价有机基团,X2及Y4各自独立为至少具有2个碳原子的2~4价有机基团,Z1具有下述通式(3)所示的结构,R7及R8各自独立为氢原子或碳原子数1~10的烃基,m4为1~1000的整数,m5为1~500的整数,在此,m4/(m4+m5)=0.05~0.99,n8~n11为0~2的整数,n8+n9+n10+n11>0,在此,包含X2及Y3的m4个单元、以及包含Z1及Y4的m5个单元的排列顺序不限,

[化学式5]

式(3)中,R1及R2各自独立为选自由氢原子以及碳原子数1~5的烃基组成的组中的至少一种基团,R3为具有选自由羟基、烷氧基、链烯基、环氧基、以及氧杂环丁烷基组成的组中的至少一种基团的基团,W2为碳原子数1~30的(n1+2)价有机基团,B为选自由-NH-、-O-以及-S-组成的组中的基团,且n1为1~12的整数。

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