[发明专利]储料器

说明书

技术领域

本发明的各方面涉及一种储料器(stocker)。更具体而言，本发明涉及一种接纳各种基板的储料器。

背景技术

储料器临时容纳或存储用在显示器面板制造过程中的各种基板。该显示器面板制造过程需要高精度，并且在显示器面板中由于微粒而容易发生缺陷。因此，储料器的内部空间应该被保持清洁。特别地，储料器的搁板直接接触基板，因此，搁板上的微粒能够容易地移动到基板上。

作为一种用于保持储料器的内部清洁的一般方法，人直接进入到储料器中进行清洁。然而，微粒随着进入储料器中的人一起被携带到储料器内，并且，储料器的操作在储料器进行清洁时必须被中止。

在该背景技术部分中公开的上述信息只是用来增进对本发明的背景的理解，因此，上述信息可能包含不构成在该国家中本领域技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本发明的各方面已致力于提供一种储料器，该储料器具有有效地保持该储料器的内部环境清洁的优点。

本发明的各方面提供一种储料器，该储料器包括：具有多个接纳搁板的主体单元；将待移动的接纳材料传递到所述主体单元的传递单元；将通过所述传递单元传递的接纳材料堆叠在所述主体单元的所述多个接纳搁板中的其中一个上的机械臂；以及和所述机械臂一起移动从而将微粒从所述主体单元内除去的集尘单元。

根据本发明的一方面，所述集尘单元可包括：和所述机械臂一起移动的集尘管；以及布置在所述传递单元上从而通过所述集尘管抽吸所述主体单元的内部空气的真空泵。

根据本发明的一方面，所述机械臂可通过所述机械臂的一个端部移动所述接纳材料，并且，所述集尘管可以具有形成在所述机械臂的所述一个端部处的第一开口以及连接到所述真空泵的第二开口。

根据本发明的一方面，所述集尘单元可以进一步包括布置在所述集尘管与所述真空泵之间的净化过滤器。

根据本发明的一方面，所述储料器可以包括清洁垫，该清洁垫具有底基板和形成在该底基板的边缘处的吸收单元，其中所述清洁垫被堆叠在所述主体单元上，使得所述吸收单元接触所述主体单元的所述多个接纳搁板中的另一个。

根据本发明的另一方面，提供一种具有主体单元的储料器，该储料器包括将接纳材料堆叠到所述主体单元中的机械臂以及将微粒从所述主体单元内除去的集尘单元，其中所述集尘单元和所述机械臂一起移动。

根据本发明的又一方面，提供一种具有机械臂的储料器的集尘单元，该集尘单元具有：布置在所述机械臂上的集尘管；布置在所述机械臂的第一端处的真空泵；以及布置在所述集尘管与所述真空泵之间的净化过滤器。

本发明的另外的方面和/或优点部分地将陈述在下述描述中，部分地根据该描述变得明显，或通过实施本发明而获悉。

附图说明

本发明的这些和/或其它方面和优点将根据结合附图的各实施例的以下描述变得明显并更易于理解，其中：

图1为根据本发明第一示例性实施例的储料器的示意图。

图2为图1的主体部分的内部结构的放大示意图。

图3为根据本发明第二示例性实施例的储料器的示意图。

具体实施方式

现在将详细参照本发明的当前实施例，其实例图示在附图中，其中相似的附图标记自始至终表示相似的元件。各实施例在下文中进行描述，以通过参照附图解释本发明。

并且，对于本发明的示例性实施例，通过对相同的构成元件使用相同的附图标记，结合相关附图，对于第一示例性实施例中的构成元件给出详细描述，而在其它示例性实施例中只描述与第一示例性实施例相关的构成元件不同的构成元件。

为了清楚地描述本发明，与描述无关的部分被省去，并且相似的附图标记在整个申请文件中指代相似的元件。

而且，由于附图中所示的各个结构部件的尺寸和厚度为了解释方便而被随意示出，因此本发明并非必须限于所提供的图示。

在附图中，层、膜、面板、区域等的厚度为了清楚和解释方便被夸大。应理解，当诸如层、膜、区域或基板等元件被提及为在另一元件“上”或“形成于”另一元件“上”时，其能够直接位于另一元件上，或者也可存在中间元件。相反，当元件被提及为“直接位于”或“直接形成于”另一元件“上”时，不存在中间元件。