[发明专利]一种工作台位置测量系统

权利要求书

1.一种工作台位置测量系统，其特征在于，所述工作台位置测量系统包括：一镜头、一主基板、一承片台、一大理石、至少一光栅尺组、以及与该光栅尺组相对应的至少一读头组，所述镜头固定在所述主基板上，并且镜头靠近所述光栅尺组的一端内陷于所述主基板，镜头远离所述光栅尺组的一端外露于所述主基板，所述读头组合成一读头集，所述读头集安装在主基板上，所述光栅尺组固定在所述承片台的四周，所述承片台安装在所述大理石上并在所述大理石表面运动。

2.根据权利要求1所述的工作台位置测量系统，其特征在于，所述读头组和所述光栅尺组对应排列成四边形布局。

3.根据权利要求1所述的工作台位置测量系统，其特征在于，所述读头组和所述光栅尺组对应排列成十字布局。

4.根据权利要求1所述的工作台位置测量系统，其特征在于，所述光栅尺组包括若干沿X方向延伸的水平光栅刻线和若干沿Y方向延伸的垂直光栅刻线；所述读头组由三排读头组成，三排读头的中间一排读头与光栅尺组的垂直光栅刻线对应，用于测量承片台X方向上的运动；三排读头的两侧两排读头与光栅尺组的水平光栅刻线相对应，用于测量承片台Y方向上的运动，并结合两侧两排读头所测Y方向上的读数结果得到承片台相对大理石的旋转角度。

5.根据权利要求1所述的工作台位置测量系统，其特征在于，所述读头组是传感器。

6.根据权利要求1所述的工作台位置测量系统，其特征在于，所述光栅尺组包括若干沿X方向延伸的水平光栅刻线和若干沿Y方向延伸的垂直光栅刻线；所述读头组106仅包括两排读头，其中一排读头与光栅尺组的垂直光栅刻线对应，用于测量承片台于X方向上的运动，另一排读头与光栅尺组的水平光栅刻线对应，用于测量承片台于Y方向上的运动。