[发明专利]对准衬底的方法

权利要求书

1.一种对准衬底结合设备的第一衬底与第二衬底的方法，所述衬底结合设备包含用于对准各自包括多个对准标记的所述第一衬底与所述第二衬底的对准单元，其特征在于，

所述第一衬底的所述多个对准标记中的一个与所述第二衬底的所述多个对准标记中的对应者被定义成一对对准标记，

所述方法包括减少多个未对准值中的最大未对准值以便对准所述第一衬底与所述第二衬底，每一未对准值是从每一对对准标记获得。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，减少所述最大未对准值包括对准所述第一衬底与所述第二衬底，使得多对所述对准标记的未对准值包含在容许范围内。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，减少所述最大未对准值包括：

在所述第一衬底和所述第二衬底中的任一个进行虚拟移动的X、Y和θ方向中的每一个上设定虚拟移动算术范围，和通过将所述虚拟移动算术范围划分成若干个区段来设定虚拟移动算术空间；

在所述X、Y和θ方向中的每一个上设定的所述虚拟移动算术范围内与相应的所述虚拟移动算术空间对应的虚拟移动算术值处执行算术运算，且存储所述X、Y和θ方向上在相应的所述虚拟移动算术值处所获得的所述最大未对准值；

搜索所述最大未对准值中的最小值和X、Y和θ方向上对应于所述最小值的虚拟移动算术值；以及

将所述X、Y和θ方向上的所述虚拟移动算术空间与所述X、Y和θ方向上所述对准单元的分辨率进行比较，

其中，在所述X、Y和θ方向上所述虚拟移动算术空间中的至少一个大于所述X、Y和θ方向上所述对准单元的所述分辨率的情况下，

所述方法还包括且重复：

设定两个虚拟移动算术值之间的范围作为所述X、Y和θ方向上的新虚拟移动算术范围，使得所述新虚拟移动算术空间小于先前的所述虚拟移动算术空间；

通过将所述新虚拟移动算术范围划分成若干个区段来设定新虚拟移动算术空间；且

所述方法重复：

设定两个虚拟移动算术值之间的所述范围作为所述X、Y和θ方向上的所述新虚拟移动算术范围；

设定所述新虚拟移动算术空间；

执行所述算术运算；

存储所述最大未对准值；

搜索所述最大未对准值中的所述最小值；以及

将所述X、Y和θ方向上的所述虚拟移动算术空间与所述X、Y和θ方向上所述对准单元的分辨率进行比较；且

其中，在所述X、Y和θ方向上相应的所述虚拟移动算术空间大于所述X、Y和θ方向上所述对准单元的所述分辨率的情况下，

所述方法还包括：

将所述第一衬底和所述第二衬底中的一个移动到所述X、Y和θ方向上对应于所述最小值的所述虚拟移动算术值以对准所述第一衬底与所述第二衬底。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在通过将所述虚拟移动算术范围划分成若干个区段来设定所述虚拟移动算术空间的期间，所述X、Y和θ方向上的所述虚拟移动算术空间经设定以在所述X、Y和θ方向上具有在所述虚拟移动算术范围内的恒定空间。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述X、Y和θ方向上所述虚拟移动算术空间的边界点被设定为所述虚拟移动算术值。

6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述X、Y和θ方向上的初始虚拟移动算术范围被设定为所述第一衬底与所述第二衬底之间的最大未对准值，且所述最大未对准值为限定于所述衬底支撑单元的区域内的值。

7.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，存储所述X、Y和θ方向上在相应的所述虚拟移动算术值处所获得的所述最大未对准值包括：

对于对应于所述虚拟移动算术值的所有各对的对准标记进行所述X、Y和θ方向上呈(X，Y，θ)形式的组合，且相对于所有的所述组合来计算未对准值；以及

存储针对对应于每一虚拟移动算术值的所有各对的对准标记所获得的经计算的所述未对准值中的最大未对准值，作为每一虚拟移动算术值的所述最大未对准值。

8.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在设定两个虚拟移动算术值之间的所述范围作为所述新虚拟移动算术范围的期间，所述两个虚拟移动算术值中的一个邻近于一个方向上对应于所述最小值的所述虚拟移动算术值，且所述两个虚拟移动算术值中的另一个邻近于沿相反方向对应于所述最小值的所述虚拟移动算术值。

9.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在通过将所述新虚拟移动算术范围划分成若干个区段来设定所述新虚拟移动算术空间的期间，所述新虚拟移动算术范围中区段的数目是与先前所述虚拟移动算术范围中区段的数目相同。