[发明专利]可动光学元件调节驱动装置有效
申请号: | 201010256236.3 | 申请日: | 2010-08-18 |
公开(公告)号: | CN102375345A | 公开(公告)日: | 2012-03-14 |
发明(设计)人: | 陈明杰;王洪尊 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02B7/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 元件 调节 驱动 装置 | ||
1.一种可动光学元件调节驱动装置,其特征在于,包括:
主躯干;
第一及第二饶性安装座,分别设置于所述主躯干的两端;
第一及第二饶性安装座固定块固定于所述主躯干两端的侧面,以限制所述第一及第二饶性安装座上下移动;
第一及第二调整螺钉分别通过所述主躯干上的螺纹孔连接到所述第一及第二饶性安装座;
驱动机构,固定在所述第一及第二饶性安装座之间;
变形块,连接于所述主躯干的一端。
2.根据权利要求1所述的可动光学元件调节驱动装置,其特征在于,所述主躯干采用弹性材料。
3.根据权利要求1所述的可动光学元件调节驱动装置,其特征在于,所述驱动机构是压电陶瓷。
4.根据权利要求1所述的可动光学元件调节驱动装置,其特征在于,所述主躯干包括:
躯干部;
第一臂及第二臂分别设置于所述躯干部两端;
一凸出部设置于所述第二臂的臂端;
其中所述凸出部、上述躯干部与所述第二臂的连接处两侧均具有沟槽。
5.根据权利要求4所述的可动光学元件调节驱动装置,其特征在于,所述变形块,为一框体,套接于所述第二臂的臂端上。
6.根据权利要求5所述的可动光学元件调节驱动装置,其特征在于,所述变形块的内侧面上具有多个沟槽。
7.根据权利要求1所述的可动光学元件调节驱动装置,其特征在于,所述变形块,采用弹性材料。
8.根据权利要求1所述的可动光学元件调节驱动装置,其特征在于,所述第一及第二饶性安装座的相对面上开设圆槽,以使所述驱动机构固定在第一及第二饶性安装座之间。
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