[发明专利]一种溅射钽环件内外表面的平板滚花工艺

权利要求书

1.一种溅射钽环件内外表面的平板滚花工艺，其特征在于工艺过程为：首先制备钽条，圆弧铣削，上下表面滚花，圆周滚花，卷圆即可。

2.按照权利要求1所述的溅射钽环件内外表面的平板滚花工艺，其特征是：上述制备的钽条平面度≤0.15mm，钽条同板差≤0.127mm。

3.按照权利要求1所述的溅射钽环件内外表面的平板滚花工艺，其特征是：上述圆弧铣削时采用真空吸盘的方式定位钽条，所用铣刀为圆弧铣削刀。

4.按照权利要求1所述的溅射钽环件内外表面的平板滚花工艺，其特征是：上述上下表面滚花是在二滚卷圆机上完成，其中该卷圆机的上下辊为带纹路的辊子。

5.按照权利要求1所述的溅射钽环件内外表面的平板滚花工艺，其特征是：上述圆周滚花时采用真空吸盘的方式定位钽条，所用滚花刀具为圆弧滚花刀。

6.按照权利要求1所述的溅射钽环件内外表面的平板滚花工艺，其特征是：上述卷圆时每次成型的压下量小于1mm，通过5～7次成型完成。

7.按照权利要求1或6所述的溅射钽环件内外表面的平板滚花工艺，其特征是：上述卷圆时在钽条的上下表面垫橡胶皮，控制圆度≤1.0mm 。