[发明专利]有助于增进气体与汽化材料接触的方法和装置

说明书

本申请是申请日为2005年6月1日、申请号为2005800259208、发明名称为“有助于增进气体与汽化材料接触的方法和装置”的发明专利申请的分案申请。

相关申请的交叉引用

本申请是2002年7月23日提交的名称为“汽化器递送瓶”的美国专利申请第10/201,518号的部分延续。将美国专利申请第10/201,518号的内容结合于此作为参考。

技术领域

本专利申请中所描述的一个或多个具体实施方式涉及汽化器(蒸发器，vaporizer)的领域。

背景技术

汽化器可用于，例如在载气中将材料递送到半导体加工设备如(例如)化学汽相淀积(VCD)设备的工艺室(加工室，process chamber)以在工件或离子注入机上形成薄膜，从而使离子朝向工件加速而注入该工件。

一种称为鼓泡器(bubbler)的汽化器通过加热容器中的液体材料并以可控速率将载气引入容器底部附近的液体材料中而将来自液态材料的蒸汽递送到工艺室。然后当载气气泡到达容器顶部时，载气变得饱和有来自液体材料的蒸汽。然后饱和载气被递送至工艺室。

来自固态材料的蒸汽可以通过加热该材料至其升华温度并引导载气流通过该加热后的材料而被递送至工艺室。

发明内容

至少一种披露的装置包括容器和有助于支撑容器中的材料使其具有增大的暴露表面积的结构，从而有助于增进气体与汽化材料的接触。用于至少一种所披露装置的结构可以有助于以当材料被置于该结构时一样的形式支撑用于汽化的材料。

至少一种披露的装置包括容器和有助于支撑容器中的材料使其具有增大的暴露表面积的结构，从而有助于增进气体与汽化材料的接触，其中汽化材料用于递送至原子层淀积(ALD)工艺设备(加工设备，process equipment)。

至少一种披露的装置包括容器和有助于支撑容器中的液体材料使其具有增大的暴露表面积的结构，从而有助于增进气体与汽化的液体材料的接触。

至少一种披露的装置包括容器以及有助于支撑容器中的材料使其具有增大的暴露表面积的一个或多个限定支撑表面的支撑物(支架，holder)，从而有助于增进气体与汽化材料的接触。用于至少一种所披露装置的支撑物沿通过支撑物支持表面的开口周边的至少一部分可以具有一个或多个侧壁，以有助于限定气体可以通过其流过支撑物的通道。

至少一种披露的装置包括容器和有助于支撑容器中的材料使其具有增大的暴露表面积的一个或多个限定支撑表面的支撑物，从而有助于增进气体与汽化材料的接触。用于至少一种所披露装置的支撑物可以具有一个或多个壁以及在一个或多个壁内的一个或多个通道，以使气体流过该支撑物。

至少一种披露的装置包括容器和有助于支撑容器中的材料使其具有增大的暴露表面积的一个或多个限定支撑表面的支撑物，从而有助于增进气体与汽化材料的接触。用于至少一种所披露装置的支撑物可以限定支撑表面，其中该支撑表面的至少一部分是在至少部分地可渗透材料(气体通过其可以流动)的上方。

至少一种披露的方法包括加热容器以有助于汽化容器中的材料，将气体引入该容器，以及将由所引入的气体与汽化材料接触而产生的气体递送至工艺设备。用于至少一种所披露方法的容器可以具有有助于支撑容器中的材料使其具有增大的暴露表面积的结构，从而有助于增进气体与汽化材料的接触。用于至少一种所披露方法的结构可以有助于以与当该材料被置于该结构时一样的形式支撑用于汽化的材料。

至少一种披露的方法包括加热容器以有助于汽化容器中的材料，将气体引入该容器，将由所引入的气体与汽化材料接触而产生的气体递送至原子层淀积工艺设备，以及利用该递送的气体实施原子层淀积工艺。用于至少一种所披露方法的容器可以具有有助于支撑容器中的材料使其具有增大的暴露表面积的结构，从而有助于增进气体与汽化材料的接触。

附图说明

通过所附附图中的实施例但不是限制性地描述了一种或多种具体实施方式，其中相同标号表示相同元件并且附图中：

图1描述了用于一种或多种具体实施方式的利用有助于增进气体与汽化材料接触的汽化器的系统；

图2描述了用于一种或多种具体实施方式的用于图1的系统中气体递送的流程图；

图3描述了用于一种具体实施方式的汽化器容器的透视、剖视图，其中汽化器容器具有有助于增进气体与来自该支撑物所支撑材料的蒸汽的接触的支撑物；

图4描述了用于一种具体实施方式的支撑物的透视图；

图5描述了用于一种具体实施方式的设置在另一支撑物上方的支撑物的截面图；