[发明专利]激光谐振腔、固体激光器以及激光谐振腔的制造方法

权利要求书

1.一种激光谐振腔，包括输入部件、输出部件和连接体，所述输入部件的入射面和输出部件的出射面互相平行并构成使激光振荡的谐振腔，所述输入部件和输出部件的通光面分别镀制有相应波段的膜层，所述连接体通过光学胶将输入部件和输出部件连接固定。

2.根据权利要求1所述的激光谐振腔，其特征在于，所述输入部件的入射面和所述输出部件的出射面的平行度小于等于15秒。

3.根据权利要求1或2所述的激光谐振腔，其特征在于，所述输入部件为激光晶体，所述输出部件为输出镜或非线性晶体。

4.根据权利要求3所述的激光谐振腔，其特征在于，所述输入部件为激光晶体，所述输出部件为输出镜，在所述激光晶体和输出镜之间还设置有非线性晶体，所述非线性晶体固定在所述连接体上，其通光面和谐振腔的腔面平行。

5.根据权利要求1所述的激光谐振腔，其特征在于，所述输入部件、输出部件以及连接体使用相同基质或者膨胀系数相近的材料。

6.根据权利要求4所述的激光谐振腔，其特征在于，所述激光晶体选自Nd:YVO₄或Nd:YAG或Nd:YLF或Nd:GdVO₄。

7.根据权利要求4所述的激光谐振腔，其特征在于，所述连接体选自YVO₄或YAG或YLF或GdVO₄或硅片或陶瓷片或玻璃。

8.根据权利要求4所述的激光谐振腔，其特征在于，所述非线性晶体选自PPKTP或PPLN或PPLT或LBO或BBO或BiBO或LN或KNO₃或KTA或CBO或CLBO或PPMgOLN或KN或LiI。

9.一种固体激光器，包括能够输出泵浦光的泵浦源，其特征在于，还包括权利要求1～8任一所述的激光谐振腔，所述泵浦源输出的泵浦光直接入射到所述谐振腔的入射面。

10.根据权利要求9所述的固体激光器，其特征在于，还设置有对所述泵浦光进行耦合的光学耦合元件，泵浦源、光学耦合元件、激光谐振腔依次排列在一条直线上，所述泵浦源输出的泵浦光经过光学耦合元件的整形和聚焦后入射到所述谐振腔的入射面。

11.根据权利要求10所述的固体激光器，其特征在于，所述泵浦源为半导体激光器，所述光学耦合元件为耦合镜。

12.根据权利要求10所述的固体激光器，其特征在于，所述泵浦源为矩阵模式排列的多个半导体激光器，所述光学耦合元件为与半导体激光器输出光路对应的多个自聚焦透镜。

13.一种激光谐振腔的制造方法，包括：

(a)选用大尺寸的匹配的输入部件材料、输出部件材料以及连接体材料；

(b)通过所述连接体材料将所述输入部件材料和输出部件材料连接固定，得到谐振腔胚胎；

(c)对所述谐振腔胚胎进行切割。

14.根据权利要求13所述的激光谐振腔的制造方法，其特征在于，步骤(c)中，对所述谐振腔胚胎进行切割根据输入部件或输出部件材料的高度方向所需尺寸沿着与所述高度方向垂直的平面进行。

15.根据权利要求13所述的激光谐振腔的制造方法，其特征在于，所述连接体材料通过光学胶将所述输入部件材料和输出部件材料连接固定。

16.根据权利要求13所述的激光谐振腔的制造方法，其特征在于，在步骤(a)和(b)之间对输入部件和输出部件的通光面进行相应波段的镀膜。

17.根据权利要求13或16所述的激光谐振腔的制造方法，其特征在于，在步骤(b)中调整输入部件的入射面和输出部件的出射面的平行度，使其小于等于15秒。

18.根据权利要求13所述的激光谐振腔的制造方法，其特征在于，当在步骤(b)之前未对输入部件和输出部件的通光面进行相应波段的镀膜时，在步骤(b)中连接固定后调节输入部件的入射面和输出部件的出射面平行度小于等于15秒，然后对其进行相应波段的镀膜。

19.根据权利要求13所述的激光谐振腔的制造方法，其特征在于，所述输入部件为激光晶体，所述输出部件为输出镜或者非线性晶体。