[发明专利]光子筛相衬物镜、制造方法及成像方法有效
| 申请号： | 201010263339.2 | 申请日： | 2010-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN102004276A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 程冠晓;胡超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B27/42;G21K7/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光子 筛相衬 物镜 制造 方法 成像 | ||
1.一种光子筛相衬物镜，其特征在于，包括由基底和设于所述基底上的多个透光孔所形成的光子筛透镜及设于所述光子筛透镜表面的变相板，所述变相板位于所述光子筛透镜的中部或环绕于所述光子筛透镜的边缘，且所述光子筛透镜的中心与变相板的中心在同一轴线上。
2.根据权利要求1所述的光子筛相衬物镜，其特征在于，所述基底的表面为平面或曲面。
3.根据权利要求1所述的光子筛相衬物镜，其特征在于，所述光子筛透镜为振幅型光子筛、相位型光子筛和消色差光子筛中的一种。
4.根据权利要求1所述的光子筛相衬物镜，其特征在于，所述变相板与所述光子筛透镜设于所述基底的两面。
5.根据权利要求1所述的光子筛相衬物镜，其特征在于，所述光子筛透镜为圆形，所述变相板的形状为位于所述光子筛透镜的中部的圆或环绕于所述光子筛透镜的边缘的圆环。
6.一种光子筛相衬物镜的制造方法，包括以下步骤：
提供一基底；
在所述基底上蚀刻多个透光孔，以形成光子筛透镜；
在所述光子筛透镜表面形成变相板，且使所述变相板位于所述光子筛透镜的中部或环绕于所述光子筛透镜的边缘，变相板的中心与光子筛透镜的中心在同一轴线上。
7.根据权利要求6所述的光子筛相衬物镜的制造方法，其特征在于，所述变相板为在所述光子筛透镜上电镀或者光刻形成。
8.根据权利要求6所述的光子筛相衬物镜的制造方法，其特征在于，在所述基底的一面上蚀刻形成所述光子筛透镜，在所述基底的另一面上蚀刻形成所述变相板。
9.根据权利要求6所述的光子筛相衬物镜的制造方法，其特征在于，在所述基底上蚀刻形成所述光子筛透镜时，遮蔽所述基底中心部分，所述变相板由所述基底中心部分形成。
10.一种基于光子筛相衬物镜的成像方法，包括以下步骤：
获取照射物体的透射光和物体相位结构引起的衍射光；
将所述透射光移动预定的相位；
将所述移相后的透射光与所述衍射光会聚在像面上形成干涉图像。
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