[发明专利]一种激光三倍频系统

权利要求书

1.一种激光三倍频系统，其特征在于包括基频光功率密度调节装置、聚焦系统、倍频系统、走离补偿装置、和频系统；其中，输入的基频激光依次经所述基频光功率密度调节装置、聚焦系统、倍频系统、走离补偿装置、和频系统后输出。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于所述光功率密度调节装置为一组扩束镜；所述扩束镜为一对共焦的凹透镜和凸透镜。

3.如权利要求1所述的系统，其特征在于所述光功率密度调节装置包括扩束比不同的多组扩束镜和一可旋转的转盘，该扩束比不同的多组扩束镜分别安装于所述可旋转的转盘上。

4.如权利要求1所述的系统，其特征在于所述光功率密度调节装置为一扩束比可连续调整的扩束镜；所述扩束镜包括一凹透镜和一焦距可变的凸透镜组，其中所述焦距可变的凸透镜组包括两间距可调的凸透镜；所述凸透镜组与所述凹透镜之间的距离可调。

5.如权利要求1所述的系统，其特征在于所述走离补偿装置为一双折射晶体，双折射晶体的一光轴与所述倍频系统出射光中基频光或倍频光的偏振方向一致，且使基频光和倍频光的走离方向与在所述和频系统中的走离方向相反；所述倍频系统出射光经所述走离补偿装置后基频光和倍频光的走离量为基频光和倍频光在所述和频系统中走离量的1/3到1/2。

6.如权利要求1所述的系统，其特征在于所述走离补偿装置包括一组长度不同的双折射晶体和一可旋转的转盘，该组长度不同的双折射晶体分别安装于所述可旋转的转盘上。

7.如权利要求1所述的系统，其特征在于所述走离补偿装置包括一色散平板玻璃和一可旋转的旋转台，所述色散平板玻璃安装于所述可旋转的旋转台上。

8.如权利要求1所述的系统，其特征在于所述走离补偿装置包括多块色散平板玻璃；该多块色散平板玻璃相互平行排列的安装于所述可旋转的旋转台上。

9.如权利要求7或8所述的系统，其特征在于所述色散平板玻璃为熔融石英玻璃或ZF₂玻璃，其厚度小于或等于10mm；所述色散平板玻璃的两通光面上镀有基频光和倍频光两种不同波长的增透膜。

10.如权利要求1所述的系统，其特征在于所述倍频系统与所述走离补偿装置之间还插有一光功率密度调整装置；所述走离补偿装置与所述和频系统之间还插有一聚焦系统。